[实用新型]单晶棒对接装置

权利要求书

1.一种单晶棒对接装置，其特征是：包括固定底板(2)、支架(5)、晶棒压紧机构和同心度调整螺丝(6)，晶棒压紧机构固定在支架(5)上，并通过支架(5)支撑在固定底板(2)上方，同心度调整螺丝(6)设置在支架(5)上，并在支架(5)上呈两排纵向垂直排布，在固定底板(2)上设置晶托定位盘(8)，晶棒压紧机构包括气缸(3)和压紧定位盘(4)，压紧定位盘(4)与气缸(3)固定，气缸(3)固定在支架(5)上，气缸(3)与气缸控制盒(7)连接，气缸控制盒(7)控制气缸(3)按设定的要求动作，两排纵向垂直排布的同心度调整螺丝(6)的轴线在晶托定位盘(8)的中心垂直相交。

2.根据权利要求1所述的单晶棒对接装置，其特征是：所述的气缸控制盒(7)安装在支架(5)外侧。

3.根据权利要求1所述的单晶棒对接装置，其特征是：所述的同心度调整螺丝(6)的顶部具有定位套。