[实用新型]二极管酸洗机循环水酸温控制装置有效
申请号: | 201220074138.2 | 申请日: | 2012-03-01 |
公开(公告)号: | CN202523690U | 公开(公告)日: | 2012-11-07 |
发明(设计)人: | 沈耀军 | 申请(专利权)人: | 江苏通宁电子器材有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 224400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 二极管 酸洗 循环 温控 装置 | ||
1.一种二极管酸洗机循环水酸温控制装置,包括储酸箱、储酸箱保温层、手动调节阀、喷酸管道、电磁阀、酸洗机水槽、酸洗盘、进水管道、水泵、循环水加温箱、测温探头、加温器、温度控制器、出水管道,其特征在于所述的酸洗盘设置于酸洗机水槽上,所述的喷酸管道下端与储酸箱连通,喷酸管道连接手动调节阀和电磁阀,手动调节阀位于喷酸管道与储酸箱连通的一端,电磁阀位于喷酸管道的酸洗盘的一端,进水管道连通储酸箱保温层和循环水加温箱,水泵设置在进水管道上,出水管道连通储酸箱保温层和循环水加温箱,所述的储酸箱保温层位于储酸箱的外部。
2.根据权利要求1所述,一种二极管酸洗机循环水酸温控制装置,其特征在于所述的加温器、测温探头设置在循环水加温箱中,与温度控制器电气连通。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造