[实用新型]一种化学气相沉积炉用沉积室

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种沉积室，尤其涉及一种化学气相沉积炉用沉积室，属于炭/炭复合材料制造技术领域。

背景技术

化学气相沉积（CVI）是制造炭/炭复合材料的传统工艺方法，它是将烃类气体通入沉积炉内，在1000℃左右条件下，热解炭在炭纤维表面不断生长，最终使纤维编织体致密化形成炭纤维增强热解炭基体复合材料。沉积炉一般采用中频感应加热或石墨电阻加热，在石墨电阻加热沉积炉中，根据炉膛的大小石墨加热器可设计成管状、棒状、板状等不同的结构形式，在气相沉积过程中热解炭除了在炭纤维表面不断生长使炭纤维预制体致密外，还会在石墨加热器上以及引电连接部位上生长，既浪费了大量的原料气体造成沉积效率降低，而且由于热解炭在石墨加热器上以及引电连接部位上的不断生长，极易造成设备短路等故障，影响设备利用效率，增加设备检修维护工作量。因此亟需一种在沉积炉内可以避免工作气体与石墨加热器的接触，还能增加工作气体的利用率的沉积室。

实用新型内容

本实用新型针对上述现有技术中石墨电阻加热沉积炉内存在的不足，提供一种结构简单在石墨电阻加热沉积炉内不但可以避免工作气体与石墨加热器的接触，而且增加了工作气体的利用率的沉积室。    

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种化学气相沉积炉用沉积室，包括沉积室本体及上盖板，其特点是，所述沉积室本体为圆筒状结构，所述上盖板设置在所述沉积室本体的顶部，且与所述沉积室本体密闭连接，所述上盖板上设有排气孔；所述沉积室本体套装在发热体内，所述沉积室本体设置在沉积炉底座上。

在石墨电阻加热沉积炉内安装本实用新型，在本实用新型内装入准备气相沉积的预制体并由沉积炉底座上的进气孔通入烃类气体，预制体在沉积室内不断增密，反应后的废气由顶部排气孔排出。

进一步，所述沉积室本体采用石墨或炭/炭复合材料材质。

进一步，上盖板上的排气孔为圆孔，其直径为100mm。便于工作时气相沉积炉炉内沉积室内部已反应气体排放。

进一步，所述排气孔为5个。保证大量的气体能随时排除沉积室。

本实用新型的有益效果是：在石墨电阻加热沉积炉中安装本实用新型后，避免了工作气体与石墨加热器的接触，增加了工作气体的利用率，同时减少了热解炭在石墨加热器上以及引电连接部位上的不断生长而造成的设备短路等故障，降低了设备检修维护工作量。

附图说明

图1为本实用新型剖面结构示意图；

图2为图1沿A-A方向的俯视图。

图1-图2所示，1、沉积室本体；2、发热体；3、上盖板；4、排气孔；5、沉积炉底座；6、进气孔。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。

如图1和图2所示，一种化学气相沉积炉用沉积室，包括沉积室本体1及上盖板3，所述沉积室本体1为圆筒状结构，位于所述沉积炉底座5的上方；所述上盖板3设置在所述沉积室本体1的顶部，且与所述沉积室本体1密闭连接，所述上盖板3上设有排气孔4，所述上盖板3上的排气孔4为圆孔，所述圆孔的直径为100mm；所述沉积室本体1套装在发热体2内。

所述沉积室本体1采用石墨或炭/炭复合材料材质。所述炭/炭复合材料是一种由高强度碳素纤维和碳素基质经过石墨化增强处理后构成的材料，可以广泛应用在高温环境下的各类结构件，加热器和容器。

在石墨电阻加热沉积炉内安装本实用新型，在本实用新型沉积室内装入准备气相沉积的预制体，然后通过沉积炉底座5上的进气孔6通入烃类气体，预制体在沉积室内不断增密，反应后的废气由顶部排气孔4排出，避免工作气体与石墨加热器接触。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。