[实用新型]一种单晶硅生长炉用保温隔热筒有效
| 申请号： | 201220075587.9 | 申请日： | 2012-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN202323103U | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 闫根程;栾吉刚;刘玉清;赵启民 | 申请（专利权）人： | 烟台鲁航炭材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 264006 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 生长 保温 隔热 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶硅生长炉用保温隔热筒，包括外保温筒，其特征在于，在所述外保温筒的内壁设有内隔热屏，所述内隔热屏由炭/炭复合材料制成。
2.根据权利要求1所述的单晶硅生长炉用保温隔热筒，其特征在于，所述内隔热屏包括依次套接的至少两个以上的分段隔热屏。
3.根据权利要求2所述的单晶硅生长炉用保温隔热筒，其特征在于，所述各分段隔热屏之间设有止口或坡口连接结构。
4.根据权利要求2所述的单晶硅生长炉用保温隔热筒，其特征在于，所述各分段隔热屏之间还设有用于稳固连接相邻上下分段隔热屏的连接环。
5.根据权利要求2～4任一项所述的单晶硅生长炉用保温隔热筒，其特征在于，所述内隔热屏包括三个分段隔热屏，依次为上段隔热屏、中段隔热屏及下段隔热屏，所述下段隔热屏上设有通孔。
6.根据权利要求2～4任一项所述的单晶硅生长炉用保温隔热筒，其特征在于，所述外保温筒由石墨毡或炭毡制成。
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