[实用新型]一种基于投影光栅的三维形貌放大检测装置

权利要求书

1.一种基于投影光栅的三维形貌放大检测装置，其特征在于：由光栅投影装置（8）和图像放大采集装置组成，图像放大采集装置由显示器（1）、处理器（2）、CCD摄像机（3）、放大透镜（4）、载物台（7）、带刻度的支杆（5）和旋转套环（9）组成，载物台（7）、放大透镜（4）和摄像机CCD（3）在同一轴线上；光栅投影装置内部的激光器（10）、扩束镜（11）、准值透镜（12）和光栅（13）依次排列在一条同轴线上，光栅（13）设置有光栅位置调节旋钮（14）。

2.根据权利要求1所述的基于投影光栅的三维形貌放大检测装置，其特征在于：所述图像放大采集装置的放大透镜（4）由可滑动的旋转套环（9）固定在带刻度的支杆（5）上。

3.根据权利要求1或2所述的基于投影光栅的三维形貌放大检测装置，其特征在于：所述可滑动的旋转套环（9）分布多个放大透镜（4）。