[实用新型]晶舟架

说明书

技术领域

本实用新型是有关于一种晶舟架，特别是一种具有二次防落固定的晶舟架。

背景技术

在目前半导体的工艺中，在园片或玻璃基板制成之后，基于后续工艺及搬运上的需要，会以机械手臂或人力将工艺后的园片或玻璃基板置入一容器中，并将该些园片或玻璃基板整齐排列于卡匣中，并免碰撞，并由容器载运大量园片或玻璃基板，方便运送及清洁。

请参阅图1，为公知技术的晶舟架示意图。如图1所示，在公知技术中的晶舟架8构造包含：一第一板体80，一第二板体82，复数个立柱84及至少一钢棒86，其中该钢棒86系装设于该晶舟架8的底部以支撑园片或玻璃基板；在立柱84与第一板体80及一第二板体82连接处以卡扣结构88连接，；在立柱84上布设有复数个承载部83，复数个承载部83之间形成间隙，供一园片或玻璃基板放置，方便园片或玻璃基板的搬运或清洗。

在公知技术中，立柱84单以卡扣结构88连接第一板体80及一第二板体82，晶舟架8在使用过久后，其卡扣结构88可能会松脱，进而造成运送的园片或玻璃基板摔落，造成成本的损失；另外公知技术中，承载部83接触园片或玻璃基板较大，造成清洗时遮蔽面积过大，以致于园片或玻璃基板清洗不干净，影响电讯导通而成为不良品。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶舟架，以克服公知技术晶舟架存在的缺陷。

为实现上述目的，本实用新型提供的晶舟架，包括：一第一板体及一相对的第二板体，该第一板体及该第二板体的一面上形成复数个相对的凹槽，复数个柱体，该柱体两端形成一第一套件，该第一套件插入该第一板体及该第二板体的该凹槽内，连接该第一板体及该第二板体，并使该复数个柱体相互平行配置，及至少一支撑柱体，该支撑柱体两端形成一第二套件，该第二套件插入该第一板体及该第二板体的该凹槽内，连接该第一板体及该第二板体，并使该支撑柱体相互平行配置，其中：

至少一第一插孔，形成于该第一套件及该第二套件上；

至少一第二插孔，形成于该第一板体及该第二板体的侧边，并相对于该第一插孔；及

至少一插入栓，插入该第二插孔及相对应的第一插孔中。

所述的晶舟架，其中，该复数个柱体上配置复数个相对的分隔部，每一该分隔部相对排列配置。

所述的晶舟架，其中，该分隔部为圆柱状。

所述的晶舟架，其中，该分隔部为角锥状。

所述的晶舟架，其中，该复数个柱体及该复数个支撑柱体与该第一板体及该第二板体的连接为焊接、熔接、黏合、扣合、套合、锁合和嵌合之一的连接。

所述的晶舟架，其中，该复数个支撑柱体上包覆一减震材质。

所述的晶舟架，其中，该减震材质为硅胶、橡胶或塑料。

所述的晶舟架，其中，该晶舟架的材质为一高分子材质。

所述的晶舟架，其中，该晶舟架的材质为一金属材质。

所述的晶舟架，其中，该晶舟架的材质为一耐酸碱的高分子塑料。

本实用新型所提供的晶舟架，为结构稳固的晶舟架，且可防止印痕过大的产生，提升园片或玻璃基板的良率，减少成本的损失。

附图说明

图1为公知技术的晶舟架示意图；

图2为本实用新型的晶舟架示意图；

图3为本实用新型的支撑柱体剖面图；

图4A为本实用新型的板体与柱体连接示意图；

图4B为本实用新型的插入栓连接示意图；

图5A为本实用新型的分隔部第一实施例示意图；

图5B为本实用新型的分隔部第二实施例示意图。

附图中主要组件符号说明：

X接触点，1晶舟架，10第一板体，101内面，1011凹槽，103侧边，12第二板体，20柱体，201第一套件，30支撑柱体，32减震材质，301第二套件，40第一插孔，42第二插孔，50插入栓，60分隔部，9园片；

8晶舟架(公知技术)，80第一板体(公知技术)，82第二板体(公知技术)，83承载部(公知技术)，84立柱(公知技术)，86钢棒(公知技术)，88卡扣结构(公知技术)。

具体实施方式

本实用新型提供的晶舟架，具有二次防落固定的结构，可防止晶舟架的结构松脱，且用于园片或芯片的承载使用，诸如太阳能园片、IC芯片、面板材料等半导体相关对象。

本实用新型提供的晶舟架，由配置一接触面积较小的分隔部，减少印痕的产生。