[实用新型]一种氖氦分离提纯装置

权利要求书

1.一种氖氦分离提纯装置，其特征在于，包括依次通过管道连接的压缩机、第一换热器、液氮换热器、第二换热器、第一减压阀、液氖换热器和气液分离器，所述压缩机上设有混合气进口，所述气液分离器上设有氦气出口和氖液出口，所述第一换热器、液氮换热器、第二换热器、第一减压阀、液氖换热器和气液分离器置于真空绝热容器中。

2.如权利要求1所述的氖氦分离提纯装置，其特征在于，所述气液分离器的氖液出口还包括依次通过管道连接的第二减压阀、纯氖塔、第三减压阀和所述液氖换热器，所述液氖换热器上设有纯氖出口，所述纯氖塔上设有混合气出口，所述混合气出口与所述压缩机的混合气进口相通。

3.如权利要求2所述的氖氦分离提纯装置，其特征在于，所述第二减压阀、纯氖塔和第三减压阀置于所述真空绝热容器中。

4.如权利要求1所述的氖氦分离提纯装置，其特征在于，所述气液分离器的氦气出口还包括依次通过管道连接的热交换器和低温吸附器，所述低温吸附器上设有纯氦出口。

5.如权利要求4所述的氖氦分离提纯装置，其特征在于，所述热交换器和低温吸附器置于低温液氮容器中。

6.如权利要求1所述的氖氦分离提纯装置，其特征在于，还包括粗提纯组件，所述粗提纯组件包括依次通过管道连接的Ⅰ级压缩机、除水干燥器、Ⅰ级换热器、Ⅰ级气液分离器和Ⅰ级低温吸附器，所述Ⅰ级压缩机上设有粗混合气进口，所述Ⅰ级低温吸附器上设有纯混合气出口，所述纯混合气出口与所述压缩机的混合气进口相通。

7.如权利要求6所述的氖氦分离提纯装置，其特征在于，所述Ⅰ级压缩机、除水干燥器、Ⅰ级换热器、Ⅰ级气液分离器和Ⅰ级低温吸附器置于低温液氮容器中。

8.如权利要求7所述的氖氦分离提纯装置，其特征在于，还包括与Ⅰ级气液分离器通过管道依次连接的Ⅰ级减压阀、Ⅱ级气液分离器，所述Ⅱ级气液分离器的气体出口与Ⅰ级压缩机的粗混合气进口相通，所述Ⅱ级气液分离器的液体出口与低温液氮容器相通。

9.如权利要求6所述的氖氦分离提纯装置，其特征在于，还包括主换热器，所述除水干燥器通过主换热器与Ⅰ级换热器连接，所述Ⅰ级低温吸附器通过主换热器与所述压缩机的混合气进口连接。