[实用新型]用于调焦调平的连接机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及微电子装备，尤其涉及一种用于调焦调平的连接机构。

背景技术

图1所示为现有技术的连接机构，所述连接机构包括上连接件301、双螺纹连接套304和下连接件305，双螺纹连接套304有旋向相同且螺距不同的第一螺纹和第二螺纹，上连接件301有螺纹，上连接件301有螺纹，上连接杆301的螺纹与双螺纹连接套304的第一螺纹配合连接，下连接件305有螺纹，下连接杆305的螺纹与双螺纹连接套304的第二螺纹配合连接，上连接杆301有接口与主基板1固定连接，下连接杆305的一端插入调心座307和调心球308，调心座307与调心球308的球面配合，下连接杆305有接口与调焦调平传感器载板固定连接。通过两个锁紧螺母303和306以及双螺纹连接套304来调整调焦调平传感器载板2的位置，使调焦调平传感器的焦面与投影物镜的焦面重合。

调整现有技术的连接机构时，需要占用连接机构侧面较大的操作空间(横向空间)，不符合光刻机对空间约束日益严格的发展趋势，特别是，调焦调平传感器周围通常布置着微环境控制系统，从侧面进行操作会影响到周围的微环境控制系统；

现有技术中，连接机构的上连接件与主基板1通过螺纹固定连接，下连接件与调焦调平传感器载板2也通过螺纹固定连接，通常情况下投影物镜的焦面与主基板1所在的平面平行，调焦调平传感器载板2所在的平面与主基板1所在的平面平行，如果投影物镜的焦面与主基板1所在的平面不平行，就要通过调整连接机构来调整调焦调平传感器载板2的位置，在任意一个连接机构需要调整时，调焦调平传感器载板2必然要绕另外两个连接机构的连线转动，然而，连接机构与主基板1及调焦调平传感器载板2均固定连接，限制了调焦调平传感器载板2的转动。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于调焦调平的连接机构，可节省横向操作空间。

为了达到上述的目的，本实用新型提供一种用于调焦调平的连接机构，包括调整组件和设置于所述调整组件一侧的辅助操作组件，所述调整组件包括调整螺杆、第一带齿螺母、调心座、调心球、防转销和第一锁紧螺母；所述调整螺杆一端的外侧壁上设有第一外螺纹，所述调整螺杆另一端的外侧壁上设有第二外螺纹；所述第一带齿螺母套接在所述调整螺杆上且与所述第一外螺纹螺纹连接；所述调心座、调心球和第一锁紧螺母均套接在所述调整螺杆上，所述调心球的一端为球面端，所述调心球的另一端为平面端，所述调心座与所述调心球的球面端连接，所述第一锁紧螺母与所述调心球的平面端连接，且所述调心球和第一锁紧螺母与所述第二外螺纹螺纹连接；所述防转销的一端穿过所述调心座和调心球、与所述调整螺杆的外侧壁接触；所述辅助操作组件包括旋转轴、固定螺母、第二带齿螺母和第二锁紧螺母；所述固定螺母套接在所述旋转轴上，且与所述旋转轴螺纹连接；所述第二带齿螺母套接在所述旋转轴上，且与所述旋转轴固定连接；所述第二锁紧螺母套接在所述旋转轴上，且与所述旋转轴螺纹连接。

上述用于调焦调平的连接机构，其中，所述第一带齿螺母的外侧壁上设有齿轮，所述第二带齿螺母的外侧壁上设有齿轮，所述第二带齿螺母的齿轮与所述第一带齿螺母的齿轮相匹配。

上述用于调焦调平的连接机构，其中，所述第一外螺纹与所述第二外螺纹旋向相同，螺距不同。

上述用于调焦调平的连接机构，其中，所述调整组件还包括盖板，所述盖板设置于所述调心座靠近第一锁紧螺母的一端，且与所述调心座固定连接。

上述用于调焦调平的连接机构，其中，所述调整组件还包括多个滚珠、第一滚珠保持件和第二滚珠保持件；所述第一滚珠保持件和第二滚珠保持件套接在所述调整螺母上，所述第一滚珠保持件设置于所述调心座远离第一锁紧螺母的一端，所述多个滚珠嵌设在所述第一滚珠保持件上，且所述多个滚珠与所述调心座滚动接触；所述第二滚珠保持件设置于所述第一滚珠保持件的一端且与所述所述第一滚珠保持件固定连接，所述第二滚珠保持件靠近第一滚珠保持件的端面上设有多个凹槽，一个所述凹槽与一个所述滚珠滚动接触。

上述用于调焦调平的连接机构，其中，所述旋转轴设有凸起，所述第二带齿螺母支撑在所述凸起上。

上述用于调焦调平的连接机构，其中，所述连接机构还包括弹性限位组件，所述弹性限位组件包括弹性限位件和弹性限位件固定件；所述弹性限位件固定件设置于所述调整组件的外围；所述弹性限位件的一端穿过所述弹性限位件固定件与所述调心座的外侧壁接触。

上述用于调焦调平的连接机构，其中，所述连接结构包含三个弹性限位组件，三个弹性限位组件均匀分别在同一圆周上。