[实用新型]一种溅射靶材

权利要求书

1.一种溅射靶材，包括靶材和背板，其特征在于：所述背板具有一凹槽，该凹槽为圆柱形凹槽或者为直径向内侧逐渐减小的阶梯式凹槽，该凹槽用以容纳靶坯的嵌入，所述靶坯具有一凸起，该凸起为圆柱形凸起或者为直径向内侧逐渐减小的阶梯式凸起，该凸起与背板上的凹槽相对应，用以嵌入相应的背板中，所述靶坯的凸起嵌入所述背板的凹槽内。

2.根据权利要求1所述的溅射靶材，其特征在于：所述凹槽槽深为1-15毫米，所述凸起高1-15毫米。

3.根据权利要求1所述的溅射靶材，其特征在于：背板底部阶梯式凹槽形成两层或大于两层的阶梯式结构，同时相应的靶坯也为两层或大于两层的阶梯式结构用以嵌入背板中。

4.根据权利要求1所述的溅射靶材，其特征在于：在靶材和背板接触表面设置中间层。

5.根据权利要求1所述的溅射靶材，其特征在于：所述中间层设在凹槽面上，或者设在凸起面上，或者凹槽面和凸起面上都设置中间层。

6.根据权利要求1所述的溅射靶材，其特征在于：中间层厚度为0.1-5毫米。

7.根据权利要求1所述的溅射靶材，其特征在于：成品靶材的外形为圆形、方形、三角形或异形。

8.根据权利要求1所述的溅射靶材，其特征在于：靶坯材料为铜、铜合金、铝、铝合金、钛、钛合金、镍、镍合金、钨、钨合金、铬、铬合金、钽或钽合金。

9.根据权利要求1所述的溅射靶材，其特征在于：背板材料为铜、铜合金、铝、铝合金、钛、钛合金、钼、钼合金或不锈钢。

10.根据权利要求1所述的溅射靶材，其特征在于：中间层材质为钛、钛合金、铝、铝合金、镍、镍合金、银、银合金、铜、铜合金、钒或钒合金。