[实用新型]一种坩埚吊装装置有效
申请号: | 201220092806.4 | 申请日: | 2012-03-13 |
公开(公告)号: | CN202530194U | 公开(公告)日: | 2012-11-14 |
发明(设计)人: | 张松华;雷世友 | 申请(专利权)人: | 杭州奔博科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B35/00 |
代理公司: | 杭州赛科专利代理事务所 33230 | 代理人: | 陈辉 |
地址: | 311106 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 坩埚 吊装 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种坩埚吊装装置,尤其是涉及一种单晶炉领域的坩埚吊装装置。
背景技术
单晶炉用石英坩埚装载硅料放置在炉腔的热场中溶化后提制晶体,为了节省装炉时间,常常需要在炉腔外把硅料装好后,再把坩埚放入炉腔中熔化装料越多的坩埚越需要如此。一般坩埚在装好料后,要几十公斤到几百公斤,搬动困难,因此需要特殊的吊装工具。
发明内容
本发明主要是解决上述现有技术所存在的技术问题,提供了一种便于吊装的坩埚吊装装置。
本发明的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的:
一种坩埚吊装装置,包括不锈钢壳体、吊环、压力表、真空管、真空阀、真空泵和密封胶圈,所述的不锈钢体上侧固定有吊环,不锈钢体上部固定有压力表,不锈钢壳体一侧设有真空管,真空管上设有真空阀,真空阀和真空泵通过真空管连接,不锈钢壳体下端设有密封胶圈。
本发明的有益效果在于:通过将石英坩埚内抽真空,形成坩埚内外压力差的方法,更为便捷、安全地进行单晶炉坩埚吊装工作,为单晶炉坩埚吊装提供了一种新的吊装工具。
附图说明
图1是发明的一种整体结构示意图。
具体实施方式
下面通过实施例,并结合附图,对发明的技术方案作进一步具体的说明。
实施例1
如图1所示,一种坩埚吊装装置,包括不锈钢壳体1、吊环2、压力表3、真空管5、真空阀6、真空泵7和密封胶圈8,所述的不锈钢体1上侧固定有吊环2,不锈钢体1上部固定有压力表3,不锈钢壳体1一侧设有真空管5,真空管5上设有真空阀6,真空阀6和真空泵7通过真空管连接,锈钢壳体1下端设有密封胶圈8,真空管分为两段,之间设有一个快装接头9。
一种坩埚吊装装置的使用方法,包括下述顺序步骤:
1、将坩埚吊装装置的下部固定于单晶炉坩埚上;
2、打开真空阀,用真空泵对坩埚进行抽真空操作;
3、观察压力表,当压力低于0.5kg/cm2,关闭真空阀,脱开快装接头,开始进行吊装工作。
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