[实用新型]真空镀膜用离子轰击板机构

权利要求书

1.一种真空镀膜用离子轰击板机构，其特征是它包括电源、与电源阴极相连的充气管（1）、与电源阳极相连的冷却水管（2）和绝缘件（7），所述的冷却水管（2）与充气管（1）相对设置，待轰击基材（8）从冷却水管（2）和充气管（1）间的夹隙中通过，进行离子轰击，所述的充气管（1）的一端为进气口（3），充气管（1）上与待轰击基材（8）相对的一面设有若干个出气口（4），所述的充气管（1）和冷却水管（2）的两端夹装绝缘件（7）。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜用离子轰击板机构，其特征是所述电源的阳极与阴极采用不锈钢板材。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜用离子轰击板机构，其特征是所述的冷却水管（2）的两端分别为进水口（5）和出水口（6），进水口（5）和出水口（6）串接，循环冷却。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜用离子轰击板机构，其特征是所述的充气管（1）中充入的气体为氩气。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜用离子轰击板机构，其特征是所述的若干个出气口（4）均匀的布置在充气管（1）上。

6.根据权利要求1、5所述的真空镀膜用离子轰击板机构，其特征是所述的各出气口（4）的孔径均为0.5mm，各出气口（4）的间隔为30mm。

7.根据权利要求1所述的真空镀膜用离子轰击板机构，其特征是所述的绝缘件（7）为聚四氟绝缘件。