[实用新型]一种带分子泵的三级抽真空设备有效
| 申请号： | 201220098033.0 | 申请日： | 2012-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN202579114U | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 王应毅 | 申请（专利权）人： | 浙江普阳深冷装备有限公司 |
| 主分类号： | F04B41/06 | 分类号： | F04B41/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 321300 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 分子 三级 真空设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种带分子泵的三级抽真空设备，其特征在于：包括旋片真空泵、罗茨真空泵、分子泵和若干气瓶接口，所述旋片真空泵、所述罗茨真空泵、所述分子泵和所述若干气瓶接口依次连接在一起。
2.如权利要求1所述一种带分子泵的三级抽真空设备，其特征在于：所述旋片真空泵和所述罗茨真空泵之间还设有电磁真空带充气阀。
3.如权利要求1所述一种带分子泵的三级抽真空设备，其特征在于：所述罗茨真空泵和所述分子泵之间依次还设有蝶阀、手动插板阀和电动插板阀。
4.如权利要求1所述一种带分子泵的三级抽真空设备，其特征在于：所述分子泵和所述若干气瓶接口之间依次还设有冷阱、气动高真空挡板阀。
5.如权利要求1所述一种带分子泵的三级抽真空设备，其特征在于：所述气瓶接口上设有真空计。
6.如权利要求1或2所述一种带分子泵的三级抽真空设备，其特征在于：所述旋片真空泵和所述罗茨真空泵都连接有冷却水。
7.如权利要求1或4或5所述一种带分子泵的三级抽真空设备，其特征在于：所述气瓶接口与绝热气瓶连接。
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