[实用新型]石墨盘及异形衬底

权利要求书

1.一种用于化学气相沉积工艺的石墨盘，具有用于放置衬底的凹槽，其特征在于，所述凹槽为异形凹槽，所述异形凹槽中放置异形衬底，所述异形凹槽的形状与所述异形衬底的形状对应，所述异形衬底为圆形衬底以外的衬底，所述异形凹槽和异形衬底用于增大石墨盘的利用率。

2.如权利要求1所述的石墨盘，其特征在于，所述异形凹槽的形状为等腰梯形、正六边形、长方形或正方形。

3.如权利要求2所述的石墨盘，其特征在于，所述异形衬底的形状和尺寸应满足其外接圆的直径为2英寸、4英寸、6英寸或8英寸。

4.如权利要求2所述的石墨盘，其特征在于，所述石墨盘的直径为16～19英寸。

5.如权利要求4所述的石墨盘，其特征在于，所述异形凹槽和异形衬底的形状为等腰梯形，所述异形衬底具有直径为4英寸的外接圆，所述石墨盘中的异形凹槽和放置的异形衬底的数目分别为68个。

6.如权利要求4所述的石墨盘，其特征在于，所述异形凹槽和异形衬底的形状为正方形，所述异形衬底具有直径为4英寸的外接圆，所述石墨盘中的异形凹槽和放置的异形衬底的数目分别为21个。

7.一种异形衬底，其特征在于，所述异形衬底为圆形衬底以外的衬底，所述异形衬底的形状为长方形、正方形、等腰梯形或正六边形。

8.如权利要求7所述的异形衬底，其特征在于，所述异形衬底的形状和尺寸应满足其外接圆的直径为2英寸、4英寸、6英寸或8英寸。