[实用新型]双远心连续变焦成像装置

权利要求书

1.一种双远心连续变焦成像装置，其特征在于，包括：

一准直物镜组，将一干涉图形的平行光转换为收敛光，并将其引导至一成像通道上；

一远心成像模块，将该成像通道上的该干涉图形转换为一远心成像；

一远心连续变焦模块，调整该远心成像的放大倍率，并输出一物影像；及

一电耦合元件，将该物影像成像于其上，并转换成电子信号。

2.根据权利要求1所述的双远心连续变焦成像装置，其特征在于，该准直物镜组包括两平面、一准直装置及一偏振分光棱镜组，该两平面将反射光互相干涉以产生一待测物的该干涉图形，由该准直装置将该干涉图形的平行光转换为收敛光，再由该偏振分光棱镜组引导该干涉图形至该成像通道上。

3.根据权利要求2所述的双远心连续变焦成像装置，其特征在于，该两平面产生的该干涉图形是由一测试平面的反射光与一参考平面的反射光互相干涉所形成。

4.根据权利要求2所述的双远心连续变焦成像装置，其特征在于，该两平面的反射光是由一干涉仪的投光装置所提供。

5.根据权利要求4所述的双远心连续变焦成像装置，其特征在于，更包括一衰减片位于该投光装置的光学路径上。

6.根据权利要求4所述的双远心连续变焦成像装置，其特征在于，该投光装置与该偏振分光棱镜组之间的光学路径上更包括多个反射镜及一反射块。

7.根据权利要求1所述的双远心连续变焦成像装置，其特征在于，该远心成像模块与该远心连续变焦模块之间的光学路径上更包括至少一反射镜，该反射镜将平行光轴的该远心成像反射至该远心连续变焦模块。

8.根据权利要求1所述的双远心连续变焦成像装置，其特征在于，该远心成像模块调整该干涉图形为衡定放大率的该远心成像。

9.根据权利要求1所述的双远心连续变焦成像装置，其特征在于，该远心连续变焦模块调整至少两调焦镜片之间的距离而放大该物影像，其放大倍率连续变倍介于1倍至6倍之间。

10.根据权利要求1所述的双远心连续变焦成像装置，其特征在于，该远心成像模块为继光镜组。