[实用新型]一种泡生法单晶炉的全角度视窗

权利要求书

1. 一种泡生法单晶炉的全角度视窗，含有炉体、坩埚（1）、炉盖（3），在炉体内设置坩埚（1），在坩埚（1）的中间设置籽晶杆（3），其特征在于，水冷籽晶杆（3）顶端的密封通道包括设置在炉盖（3）中央的炉盖上凸口（4）、密封连接体（5）和波纹管（6），所述炉盖上凸口（4）通过密封连接体（5）连接着波纹管（6），实现了真空状态下通过波纹管（6）对籽晶杆（2）的真空密封连接；所述炉盖（3）的上下表面都为平面结构，在炉盖（3）上设置三个视窗，即第一视窗（71）、第二视窗（72）、第三视窗（73）和三个挡板控制按钮（9）；所述的三个视窗通过三个视窗筒体，即第一视窗筒体（81）、第二视窗筒体（82）、第三视窗筒体（83）密封连接在炉盖（3）上并高于炉盖（3）的平面：定义一垂面，所述垂面垂直于炉盖（3）表面并通过炉盖（3）的直径，所述视窗筒体的中心线位于所述垂面上并倾斜于炉盖（3）表面，所述视窗筒体在其中心线与所述炉盖（3）直径近圆心端形成一个120°～125°度的钝角，所述视窗筒体在其中心线与所述炉盖直径远圆心端形成一个55°～60°度的锐角，所述视窗筒体的中心线与炉盖（3）上表面的交点到炉盖（3）中心保持一定的距离，所述的三个视窗筒体成阵列设置在炉盖上；在所述的三个视窗筒体的顶端通过密封圈安装石英玻璃，使石英玻璃与炉体保持有一定的距离；通过所述的三个视窗能全角度地观察单晶炉炉体内的单晶生长区域；在所述三个视窗筒体下端连接的炉盖（3）的下表面设有三快挡板，所述三快挡板对应所述的三个视窗筒体的位置并与所述的三个挡板控制按钮（9）连接；所述的三快挡板受三个挡板控制按钮（9）的控制：需要观察时，通过挡板控制按钮（9）转开挡板即可通过视窗进行观察，不需要观察时，将挡板遮住视窗的下端起到隔热的效果，保护石英玻璃在高温下的工作状态。

2. 根据权利要求1所述的一种泡生法单晶炉的全角度视窗，其特征在于，所述视窗筒体的中心线与炉盖（3）上表面的交点到炉盖（3）中心保持的距离是由以下公式计算得到的：

所述视窗通道直径的计算公式为：

                                                        ；

所述视窗通道临界位置的计算公式为：

        ；

所述视窗通道倾斜角度的计算公式为：

          ；

式中：

D为坩埚（1）的直径；

d 为视窗通道的内直径；

H为坩埚（1）的高度；

h1为视窗距离炉盖（3）表面的高度；

h2为炉盖（3）距离坩埚口的距离；

θ为视窗的倾斜角度；

L为视窗通道中心与炉盖（3）上表面的交点到炉盖中心的距离。

3. 根据权利要求1所述的一种泡生法单晶炉的全角度视窗，其特征在于，所述的三个视窗，即第一视窗（71）、第二视窗（72）、第三视窗（73）和所述三个视窗筒体，即第一视窗筒体（81）、第二视窗筒体（82）、第三视窗筒体（83）采用圆形结构。

4. 根据权利要求1或3所述的一种泡生法单晶炉的全角度视窗，其特征在于，所述的石英玻璃与所述的三个视窗筒体，即第一视窗筒体（81）、第二视窗筒体（82）、第三视窗筒体（83）在筒体的顶端与视窗筒体中轴线呈垂直状态密封安装。

5. 根据权利要求1所述的一种泡生法单晶炉的全角度视窗，其特征在于，所述的挡板为长椭圆型结构，一端为连轴端，另一端为开放活动端；所述开放活动端的旋转角度是固定的，可防止挡板过度旋转，影响视窗下端的密封效果。

6. 根据权利要求5所述的一种泡生法单晶炉的全角度视窗，其特征在于，所述的挡板为用金属钼材料制作的挡板。