[实用新型]一种溅射离子镀工件悬挂网架有效
| 申请号： | 201220102683.8 | 申请日： | 2012-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN202643829U | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 文晓斌;栾亚 | 申请（专利权）人： | 文晓斌 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 11362 | 代理人： | 郭防 |
| 地址： | 523692 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 离子镀 工件 悬挂 网架 | ||
1.一种溅射离子镀工件悬挂网架，其特征在于：包括支撑杆(1)、套管(2)、定位盘(3)和悬挂网架(4)，定位盘(3)与悬挂网架(4)通过紧固螺栓连接，支撑杆(1)上设有悬挂网架(4)，支撑杆(1)外侧设有套管(2)，套管(2)位于每两个悬挂网架(4)之间。
2.根据权利要求1所述的一种溅射离子镀工件悬挂网架，其特征在于：悬挂网架(4)包括垂直悬挂面(5)、水平悬挂面(6)和固定孔(7)，水平悬挂面(6)与垂直悬挂面(5)固定连接，固定孔(7)设于水平悬挂面(6)的中心处，垂直悬挂面(5)上分布悬挂孔(10)。
3.根据权利要求2所述的一种溅射离子镀工件悬挂网架，其特征在于：垂直悬挂面(5)和水平悬挂面(6)的横截面形状均为多边形或圆形。
4.根据权利要求2或3所述的一种溅射离子镀工件悬挂网架，其特征在于：垂直悬挂面(5)上均匀分布有200～600个悬挂孔(10)。
5.根据权利要求4所述的一种溅射离子镀工件悬挂网架，其特征在于：垂直悬挂面(5)上均匀分布400个悬挂孔(10)。
6.根据权利要求4所述的一种溅射离子镀工件悬挂网架，其特征在于：水平悬挂面(6)上设有连接筋板(8)。
7.根据权利要求4所述的一种溅射离子镀工件悬挂网架，其特征在于：水平悬挂面(6)上设有扇形空腔(9)。
8.根据权利要求2或3所述的一种溅射离子镀工件悬挂网架，其特征在于：水平悬挂面(6)上设有悬挂孔(10)。
9.根据权利要求1、2或3所述的一种溅射离子镀工件悬挂网架，其特征在于：定位盘(3)上设有与支撑杆(1)配合的方孔(11)。
10.根据权利要求9所述的一种溅射离子镀工件悬挂网架，其特征在于：套管(2)上设有与支撑杆(1)配合的通孔(12)。
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