[实用新型]缓冲式药液添加系统有效

专利信息
申请号: 201220104208.4 申请日: 2012-03-19
公开(公告)号: CN202601696U 公开(公告)日: 2012-12-12
发明(设计)人: 施利君;钱诚 申请(专利权)人: 苏州晶洲装备科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;C30B33/10
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215555 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 缓冲 药液 添加 系统
【说明书】:

【技术领域】

实用新型涉及一种用于太阳能硅电池湿法刻蚀机及制绒机的缓冲式药液添加系统,该系统主要应用于防止腐蚀性药液添加时快速不安全性,解决了该设备中添加的精确度和安全性。

【背景技术】

目前,国内国产的太阳能硅电池湿法刻蚀及制绒设备中,由于药液添加的特殊工艺要求,添加速度过快,导致添加盒液位波动较大,当液位波动较大时影响添加药液的精度同时,对液位监测传感器带来干扰。

【实用新型内容】

为了保证药液添加系统的精确度和传感器的准确输出,本实用新型提供了一种缓冲式药液添加系统,通过这套缓冲系统,解决了传统的添加导致精确度低,传感器误反馈的难题。充分提高了药液的浓度比例,使工艺达到理想的要求。

本实用新型的上述目的通过以下的技术方案来实现:一种缓冲式药液添加系统,包括缓冲盒、进液管和添加液管,其特征在于:所述缓冲盒内设有高精度液位计,并且液位计设有保护装置使液位上升是在浮力作用下完成,避免了连续添加液面浮动所带来的误差,提高液位显示精度。

所述液位计保护管上方开有透气孔,避免内压差使液位不准确。

本实用新型的有益效果是:药液快速添加时能精确控制添加药液体积,明显提高药液配比浓度同时达到理想的工艺要求。

【附图说明】

图1为本实用新型的结构示意图。

【具体实施方式】

下面结合附图对本实用新型进一步详述:

如图1所示,一种缓冲式药液添加系统,包括缓冲盒1、进液管2和添加液管3,其特征在于:所述缓冲盒1内设有高精度液位计4,所述高精度液位计4上设有液位计保护管5。

药液通过进液管2进入缓冲盒1内,由于高精度液位计4有液位计保护管5的保护,当进液管2快速进液时,对高精度液位计4产生较小的干扰保证液位计准确反馈液位高度。

为了尽可能在结构上降低液面波动,在液位计保护管5上方开有透气孔(图中未示出),保证液位计4因压力差带来的误显示的情况,致使药液添加精度降低。

由于药液添加通常在几次连续添加过程中完成,缓冲式药液添加系统通过液位保护管,在浮力的作用下使液位缓慢上升,液面波动微小可以消除连续添加中带来的误差提高添加精度。

则本技术方案实施完毕。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州晶洲装备科技有限公司,未经苏州晶洲装备科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201220104208.4/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top