[实用新型]一种碳化硅浆软着陆装卸载装置

权利要求书

1.一种碳化硅浆软着陆装卸载装置，包括用于连接碳化硅浆(13)的固定件和基体(1)；所述基体(1)上设置有用于驱动所述固定件沿竖直方向运动的升降运动机构，和用于驱动所述升降运动机构和所述固定件一起沿水平方向运动的水平运动机构；所述水平运动机构包括两条设置在所述基体(1)上的水平导轨(2)，所述水平导轨(2)上设置有可相对所述水平导轨(2)滑动的水平溜板(5)，所述升降运动机构固定设置在所述水平溜板(5)上；其特征在于，所述水平运动机构还包括与所述水平溜板(5)连接、以驱动所述水平溜板(5)相对所述水平导轨(2)滑动的水平同步传动带(3)，所述水平同步传动带(3)连接有水平运动电机(11)。

2.根据权利要求1所述的碳化硅浆软着陆装卸载装置，其特征在于，所述升降运动机构包括设置在所述水平溜板(5)上的升降导轨(6)，所述升降导轨(6)上设置有可相对所述升降导轨(6)滑动的升降溜板(8)；

所述升降运动机构还包括与所述升降溜板(8)驱动连接、以驱动所述升降溜板(8)沿所述升降导轨(6)上下滑动的升降丝杆(9)，所述升降丝杆(9)连接有升降运动电机(4)。

3.根据权利要求1所述的碳化硅浆软着陆装卸载装置，其特征在于，所述水平运动电机(11)为伺服电机。

4.根据权利要求2所述的碳化硅浆软着陆装卸载装置，其特征在于，所述升降运动电机(4)为伺服电机。

5.根据权利要求2所述的碳化硅浆软着陆装卸载装置，其特征在于，所述固定件包括固定设置在所述升降溜板(8)上的悬臂板(12)和设置在所述悬臂板(12)上、用于连接碳化硅浆(13)的固定腔(10)。

6.根据权利要求2所述的碳化硅浆软着陆装卸载装置，其特征在于，所述升降运动电机(4)的输出轴与涡轮蜗杆减速机(7)的空心动力输入轴连接，所述涡轮蜗杆减速机(7)的空心动力输出轴与所述升降丝杆(9)的一端连接。