[实用新型]太阳能硅片线痕高精度检测系统

权利要求书

1.一种太阳能硅片线痕高精度检测系统，包括硅片传送机构(1)、硅片位置感应装置(2)、检测模块、数据采集卡(17)和处理器(18)，所述硅片传送机构(1)能够带动硅片直线运动，检测模块上设有至少一个激光三角位移传感器(3)，激光三角位移传感器(3)将探测光斑投射到硅片表面来对其表面高度信息进行测量，硅片位置感应装置(2)能够感应硅片位于激光三角位移传感器(3)检测位置并传信于数据采集卡(17)，数据采集卡(17)采集激光三角位移传感器(3)传输的测量信息并输出数据给处理器(18)，其特征是：所述激光三角位移传感器(3)的探测光斑为椭圆光斑(31)，该椭圆光斑(31)的长轴方向与硅片线痕方向平行，椭圆光斑(31)的短轴方向与硅片运动方向一致。

2.如权利要求1所述的太阳能硅片线痕高精度检测系统，其特征是：所述硅片传送机构(1)采用非抗振动型传送机构，激光三角位移传感器(3)纵向上呈对称状态分布于硅片上下两侧并与硅片位置正对。

3.如权利要求1所述的太阳能硅片线痕高精度检测系统，其特征是：所述硅片传送机构(1)采用抗振动型传送机构，激光三角位移传感器(3)正对于硅片背向硅片传送机构(1)的一侧。

4.如权利要求1所述的太阳能硅片线痕高精度检测系统，其特征是：所述硅片传送机构(1)采用非抗振动型传送机构和抗振动型传送机构结合的方式，抗振动型传送机构能够从非抗振动型传送机构上抓取硅片再放回非抗振动型传送机构上进行继续传输。

5.如权利要求2、3或4所述的太阳能硅片线痕高精度检测系统，其特征是：若干激光三角位移传感器(3)沿垂直于硅片运动方向呈等间隔排列状态分布。

6.如权利要求5所述的太阳能硅片线痕高精度检测系统，其特征是：检测模块上还设有横向调整机构和高度调整装置，其中横向调整机构包括旋钮(5)、螺杆(6)和固定底座(7)，螺杆(6)轴向与硅片运动方向垂直，旋钮(5)带动螺杆(6)旋转，螺杆(6)与固定底座(7)固连，高度调整装置包括横梁(8)和横梁支撑架(9)，横梁(8)定位于横梁支撑架(9)上，横梁支撑架(9)相对于硅片传送机构(1)的纵向高度能够调节，激光三角位移传感器(3)固定位于横梁(8)上。

7.如权利要求6所述的太阳能硅片线痕高精度检测系统，其特征是：还设有滑块(12)和限位角(13)，所述横梁(8)上设有沿硅片运动方向的导轨，该滑块(12)配合套设于导轨上，激光三角位移传感器(3)的定位架固设于滑块(12)上，限位角(13)与横向调整机构的固定座固连。

8.如权利要求7所述的太阳能硅片线痕高精度检测系统，其特征是：检测模块上还设有微调装置，微调装置固设于滑块(12)上，激光三角位移传感器固定于微调装置上。

9.如权利要求1所述的太阳能硅片线痕高精度检测系统，其特征是：硅片传送机构(1)上还设有宽度能够调整的导流槽(15)，硅片恰能够沿导流槽(15)长度方向通过，所述导流槽(15)沿硅片运动方向的进口端呈喇叭口状。

10.如利要求1所述的太阳能硅片线痕高精度检测系统，其特征是：所述三角位移传感器为带动控制器类和不带控制器类中的一种；三角位移传感器带高速数字通信方式；三角位移传感器带可同步功能；所述数据采集卡(17)带同步采集功能。