[实用新型]坩埚冷却装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜机坩埚，尤其涉及一种坩埚冷却装置。

背景技术

目前，镀膜机已经被广泛应用，制镀薄膜尤其广泛，其制作的各种薄膜被应用到各光电系统及光学仪器中，如数码相机、数码摄像机、望远镜、投影机、能量控制、光通讯、显示技术、干涉仪、人造卫星飞弹、半导体激光、微机电系统、信息工业、激光的制作、各种滤光片、照明工业、传感器、建筑玻璃、汽车工业、装饰品、钱币、眼镜片等等。

电子枪坩埚是镀膜机中加热源部件电子枪的容器。在镀膜机工作过程中，处在真空(空气极其稀薄)中的电子枪产生高能电子会使坩埚内温度升至700～3600℃，如此高的温度会使坩埚熔化而被破坏，为了避免这类情况发生，有效地冷却坩埚是一项关键技术。

如图1所示，为现有技术的坩埚冷却装置，其中箭头表示水流方向，冷却水由入水孔进入坩埚在注满坩埚冷却腔后，从中部水孔流向顶盘四周的通水孔，再由顶盘与坩埚顶部之间的空隙流回中心管，中心管下端的出水孔流出。由于水流粘性易在图示位置产生涡旋，从而不能有效地把坩埚产生的热量带走，在实际使用中，曾发生过由于冷却不足而使坩埚被破坏的情况。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种坩埚冷却装置。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

本实用新型的坩埚冷却装置，包括坩埚冷却腔，所述冷却腔的下壁设有入水口，所述冷却腔的上部设有顶盘，所述顶盘的周边部位设有通水孔，所述顶盘的中部设有出水口，所述出水口通过中心管穿过所述冷却腔的下壁与外部相通，所述冷却腔内设有分水盘，所述分水盘将所述冷却腔分为上腔和下腔，所述上腔与下腔通过所述分水盘边缘部位的缺口相通，所述下腔与所述入水口相通。

由上述本实用新型提供的技术方案可以看出，本实用新型提供的坩埚冷却装置，由于冷却腔内设有分水盘，分水盘将所述冷却腔分为上腔和下腔，上腔与下腔通过分水盘边缘部位的缺口相通，下腔与入水口相通。水流由入水口流入，再经分水盘下方侧向流动，在缺口处流到分水盘上方，经热源侧壁流向上方顶盘的通水孔，经顶盘上方从中心管由出水口流出，使贴近坩埚加热部分的水流持续流动，携带走大量热量，从而保证了坩埚体不被破坏。

附图说明

图1为现有技术中的坩埚冷却装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的坩埚冷却装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例中分水盘的结构示意图；

图4为本实用新型实施例中的水流路径示意图。

图中：1、坩锅热源，2、顶盘，3、水流涡旋示意，4、中心管，5、入水口，6、出水口，7、侧壁开通孔部位，8、分水盘，9、立板，10、缺口。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型实施例作进一步地详细描述。

本实用新型的坩埚冷却装置，其较佳的具体实施方式是：

包括坩埚冷却腔，所述冷却腔的下壁设有入水口，所述冷却腔的上部设有顶盘，所述顶盘的周边部位设有通水孔，所述顶盘的中部设有出水口，所述出水口通过中心管穿过所述冷却腔的下壁与外部相通，所述冷却腔内设有分水盘，所述分水盘将所述冷却腔分为上腔和下腔，所述上腔与下腔通过所述分水盘边缘部位的缺口相通，所述下腔与所述入水口相通。

所述分水盘用螺钉固定在所述冷却腔的下壁上，所述入水孔与所述下腔之间的侧壁开通孔。

所述分水盘的周边部位固定有立板，所述立板的上缘抵在坩锅热源部位的下壁上。

具体实施例：

如图2所示，为提高水冷效率，在坩埚内增加一个如图3所示的分水盘，分水盘用螺钉固定在坩埚底部，同时将中部入水孔的侧向打通，使水流向径向流动。在分水盘上固定立板，可使水流流向坩埚正下方，同时支撑分水盘，使其不会发生振动。

如图4所示，为本实用新型具体实施例的坩埚冷却装置的水流路径，水流由入水口流入，再经分水盘下方侧向流动，在缺口处流到分水盘上方，经热源侧壁流向上方顶盘的通水孔，经顶盘上方从中心管由出水口流出，使贴近坩埚加热部分的水流持续流动，携带走大量热量，从而保证了坩埚体不被破坏。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。