[实用新型]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，包括基板、与基板配合形成收容腔的外壳、收容于收容腔内的MEMS芯片和ASIC芯片，其特征在于：所述基板上设有环形凸台，所述环形凸台包括上开口面、相对的下开口面、以及贯通上开口面和下开口面的通孔，所述环形凸台的下开口面固持于基板，所述MEMS芯片固持于所述环形凸台的上开口面并覆盖通孔，所述环形凸台的通孔形成MEMS芯片的附加背腔。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述环形凸台呈环四边形。

3.根据权利要求1或2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述环形凸台自侧面向外衍生延伸出第二环形凸台，所述第二环形凸台包括第二上开口面、相对的第二下开口面、以及贯通第二上开口面和第二下开口面的第二通孔，所述第二环形凸台的第二下开口面固持于基板，所述ASIC芯片固持于所述第二环形凸台的第二上开口面并覆盖所述第二通孔，所述第二环形凸台的第二通孔与环形凸台的通孔贯通。

4.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第二环形凸台呈环四边形。

5.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第二环形凸台的第二通孔与环形凸台的通孔之间设有贯通槽，通过所述贯通槽贯通。