[实用新型]超精密三向坐标自动调整机构

权利要求书

1.超精密三向坐标自动调整机构，包括多个于水平方向相互平行放置的第一导轨、第一动力组件、活动连接于所述第一导轨且可由所述第一动力组件驱动沿水平方向移动的底座以及置于所述底座上方的平台，其特征在于，还包括第二动力组件以及置于所述底座和所述平台之间且可由所述第二动力组件驱动带动所述平台相对于所述底座转动或沿垂直方向移动的运动组件。

2.如权利要求1所述的超精密三向坐标自动调整机构，其特征在于，所述超精密三向坐标自动调整机构包括两个所述的第二动力组件，所述运动组件包括活动设于所述底座上且可由一所述第二动力组件驱动沿垂直方向移动的第一移动块、活动设于所述底座上且可由另一所述第二动力组件驱动沿垂直方向移动的第二移动块、一端活动连接于所述平台水平方向一侧且可相对于所述平台转动的第一连接板、活动设于所述平台水平方向另一侧且可相对于所述平台沿水平方向移动的移动板以及一端活动连接于所述移动板且可相对于所述移动板转动的第二连接板，所述第一连接板的另一端连接于所述第一移动块，所述第二连接板的另一端连接于所述第二移动块。

3.如权利要求2所述的超精密三向坐标自动调整机构，其特征在于，所述移动板与所述平台之间设有可使所述移动板相对于所述平台沿水平方向移动的移动组件。

4.如权利要求3所述的超精密三向坐标自动调整机构，其特征在于，所述移动组件包括设于所述移动板下表面的第二导块或沿水平方向设置的第二导轨以及设于所述平台上表面且可与所述第二导块或所述第二导轨相对应活动配合的第二导轨或第二导块。

5.如权利要求2至4任一项所述的超精密三向坐标自动调整机构，其特征在于，所述平台水平方向一侧设有第一转轴，所述第一连接板的一端活动连接于所述第一转轴，所述移动板设有第二转轴，所述第二连接板的一端活动连接于所述第二转轴。

6.如权利要求1至4任一项所述的超精密三向坐标自动调整机构，其特征在于，所述第一动力组件包括第一电机、可由所述第一电机驱动转动的第一丝杆以及活动套设于所述第一丝杆且可随所述第一丝杆转动而沿水平方向移动的第一连接件，所述第一连接件连接于所述底座下表面。

7.如权利要求1至4任一项所述的超精密三向坐标自动调整机构，其特征在于，所述第二动力组件包括第二电机、可由所述第二电机驱动转动的第二丝杆以及活动套设于所述第二丝杆且可随所述第二丝杆转动而沿垂直方向移动的第二连接件，所述第一移动块连接于一所述第二动力组件的第二连接件，所述第二移动块连接于另一所述第二动力组件的第二连接件。

8.如权利要求6所述的超精密三向坐标自动调整机构，其特征在于，还包括支撑轴承座，所述第一丝杆活动穿设于所述支撑轴承座中。