[实用新型]一种研磨抛光机的研磨液滴加装置有效
| 申请号： | 201220110813.2 | 申请日： | 2012-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN202825562U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 曾雨晴 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 抛光机 液滴加 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨抛光机的研磨液滴加装置，其特征在于，包括底座、瓶体和滴加头，所述瓶体固定设置在底座上，所述滴加头套设在瓶口上。
2.根据权利要求1所述的研磨抛光机的研磨液滴加装置，其特征在于，所述底座为双排支架，包括前支架和后支架。
3.根据权利要求2所述的研磨抛光机的研磨液滴加装置，其特征在于，所述后支架的高度可调节。
4.根据权利要求3所述的研磨抛光机的研磨液滴加装置，其特征在于，所述瓶体瓶口部分设置在前支架上。
5.根据权利要求4所述的研磨抛光机的研磨液滴加装置，其特征在于，所述前支架的半径小于所述瓶体半径。
6.根据权利要求1所述的研磨抛光机的研磨液滴加装置，其特征在于，所述滴加头包括一活塞。
7.根据权利要求1-6中任意一项所述的研磨抛光机的研磨液滴加装置，其特征在于，所述底座的材质为不锈钢。
8.根据权利要求7所述的研磨抛光机的研磨液滴加装置，其特征在于，所述瓶体的材质为高密度聚乙烯。
9.根据权利要求8所述的研磨抛光机的研磨液滴加装置，其特征在于，所述瓶体为研磨液自带的瓶体，其底部半径为3cm，高为15cm。
10.根据权利要求9所述的研磨抛光机的研磨液滴加装置，其特征在于，所述活塞的材质为聚四氟乙烯。
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