[实用新型]自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置

权利要求书

1.一种自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，包含一废油储槽、一初滤单元、一初滤储槽、一抑菌单元及至少一精滤单元，其特征在于：

该废油储槽储置废油泥，具有一输出端；

该初滤单元，接设在该废油储槽的输出端，废油储槽的废油泥中的固形物经初滤单元滤除后得到初滤液，该初滤单元具有一输出端；初滤储槽，接设在初滤单元的的输出端，该初滤储槽暂存经由该初滤单元所释出的初滤液；

该抑菌单元，接设在初滤单元的的输出端，具有输入端及一输出端，该抑菌单元对该初滤储槽内部的初滤液进行抑菌作业；

该精滤单元，接设在该抑菌单元的输出端，对经过抑菌单元处理的滤液再进行精滤作业。

2.如权利要求１所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：该抑菌单元具有一中空储槽及一置于该中空储槽内部的紫外线灯。

3.如权利要求１所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：该抑菌单元具有一中空储槽、一置于该中空储槽内部的紫外线灯，及一连续环绕在该紫外线灯外周侧的送料管，该送料管具有透光性。

4.如权利要求１所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：该抑菌单元还具有一抑菌层，该抑菌层表面涂布光触媒、奈米银的任一种材料。

5.如权利要求１所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：该精滤单元包含有一与该除菌单元的输出端导通的精滤槽、一装设在该精滤槽内的精滤膜组、一与该精滤膜组链接的驱动机构，以及一用以盛装经过该精滤膜组处理后的再生油的再生油槽。

6.如权利要求５所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：该精滤单元的精滤膜组是采用超滤膜、奈米膜、逆渗透膜的任一种。

7.如权利要求１所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：该初滤单元具有一压滤机，该压滤机利用压滤方式将废油泥进行固液分离。

8.如权利要求１所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：该初滤单元具有一离心机，该离心机利用离心沉降方式将废油泥进行固液分离。

9.如权利要求１所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：还包含有一废液储槽，该废液储槽盛接自该精滤单元所排出的浓缩废液，并抽引回至该初滤单元内进行再过滤。

10.如权利要求５所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：还包含一油质监测单元，该油质监测单元链接于该精滤单元的精滤槽与该再生油槽之间，再生油经由该油质监测单元作浊度精密判别，经符合标准的再生油释出于该再生油槽内回收，未达标准的再生油被接引回该精滤槽内。