[实用新型]新风助排式盖板有效
申请号: | 201220111923.0 | 申请日: | 2012-03-21 |
公开(公告)号: | CN202643914U | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 刘金升;张强 | 申请(专利权)人: | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
主分类号: | C30B33/08 | 分类号: | C30B33/08;C23F1/08;H01L31/18 |
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地址: | 215555 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 新风 助排式 盖板 | ||
【技术领域】
本实用新型涉及一种用于太阳能硅电池湿法刻蚀机及制绒机抽风盖板装置,尤其涉及一种新风助排式盖板。
【背景技术】
目前,国内国产的太阳能硅电池湿法刻蚀设备及制绒设备中,由于硅片反应过程会释放出大量的腐蚀性气体,这些气体不均匀的笼罩着硅片表面,影响着硅片清洗的刻蚀、制绒效果,进而使之最终转换率不高。同时设备中气体中含腐蚀性气体过多,导致设备使用年限严重缩减,影响设备的正常使用寿命,酸气过重也会造成对人体严重的损害,对生产线员工健康极为不利。
【实用新型内容】
由于太阳能硅电池湿法刻蚀机及制绒机所采用的是强挥发性酸,为了保证设备工作区域浓重的酸气大量扩散,本实用新型提供了一种新风助排式盖板来改善排风的装置,通过这种盖板,解决了传统设备中酸气过重现象,改善了硅片清洗气场。再其提高硅片清洗效果的同时,加强了设备防腐能力,也减少了浓厚的酸气所给操作人员带来的伤害。
本实用新型的上述目的通过以下的技术方案来实现:一种新风助排式盖板,其特征在于:所述盖板顶部设置主抽风孔;在主抽风孔下方设置V型过渡抽风腔体,依接近主抽风口远近而在其底部设置有大到小排列的汇气孔,防止因局部抽风猛烈影响硅片清洗不均等效果,同时为了避免长期酸气积聚冷凝影响抽风效果,将底板设置成V型以便可及时排出积水。
作为本实用新型的进一步改进,所述盖板的后壁板上开设新风进口,新风进口内设有独立进风腔体,独立进风腔体底部均匀开设的小孔与槽体空间连通,促使不会因过量抽风而形成的负压同时因时刻为槽体补充新风,形成气流循环,确保了槽内气体的洁净度。
作为本实用新型的进一步改进,所述盖板顶部还设有把手。
本实用新型的有益效果是:利用新风助排式盖板及其配套的元件所组成的系统,有效的防止了太阳能清洗机内部的酸气过浓现象,改善了硅片反应区域的气场,确保了电池片最终出片品质的提升。
【附图说明】
图1为本实用新型的结构示意图;
图2是图1的仰视图;
图3是图1的左视图。
【具体实施方式】
下面结合附图对本实用新型进一步详述:
如图1所示,一种新风助排式盖板,其特征在于:所述盖板顶部设置主抽风孔1;在主抽风孔1下方设置V型过渡抽风腔体2,依接近主抽风口1远近而在其底部设置有大到小排列的汇气孔3,防止因局部抽风猛烈影响硅片清洗不均等效果,同时为了避免长期酸气积聚冷凝影响抽风效果,将底板设置成V型以便可及时排出积水;所述盖板的后壁板上开设新风进口4,新风进口4内设有独立进风腔体,独立进风腔体2底部均匀开设的小孔5与槽体空间连通,促使不会因过量抽风而形成的负压;所述盖板顶部还设有把手6。
硅片在工艺段均需要安装新风助排盖板进行化学防护,防止药水蒸汽散发至整个设备中,而在距抽风口近的区域抽取速度会快,反之则比较缓慢,为了尽可能在结构上减少局部抽风对气场不均的配置,过渡抽风腔体由大到小排列的汇气孔3均匀分散了抽风压力。
通过新风助排式盖板上设置的新风进口4,在均布排列的分流口将新风源源不断的输送至槽体内部,使硅片反应区域形成一个持续均匀稳定的气场。
则本技术方案实施完毕。
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