[实用新型]NiCr系平板太阳能光谱选择性吸收涂层有效
| 申请号： | 201220113819.5 | 申请日： | 2012-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN202573165U | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 尹万里;崔银芳;张敏;孙守建;李世杰;王轩 | 申请（专利权）人： | 北京桑达太阳能技术有限公司 |
| 主分类号： | B32B9/04 | 分类号： | B32B9/04;B32B15/00;F24J2/48 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 徐宁 |
| 地址： | 100012 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | nicr 平板 太阳能 光谱 选择性 吸收 涂层 | ||
1.一种NiCr系平板太阳能光谱选择性吸收涂层，其特征在于：它包括一基底，所述基底上通过直流磁控反应溅射法由内向外依次设置有一过渡层、一红外反射层、一吸收层和一减反射层；所述吸收层由第一亚层和第二亚层构成。
2.如权利要求1所述的NiCr系平板太阳能光谱选择性吸收涂层，其特征在于：所述基底采用铝、铜和不锈钢基底中的一种。
3.如权利要求1所述的NiCr系平板太阳能光谱选择性吸收涂层，其特征在于：所述过渡层为CrN、CrON、SiN和SiON层中的一种，其厚度为20～100nm；所述减反射层为CrON和SiON介质层中的一种，其厚度为20～100nm；所述过渡层的厚度小于所述减反射层的厚度。
4.如权利要求2所述的NiCr系平板太阳能光谱选择性吸收涂层，其特征在于：所述过渡层为CrN、CrON、SiN和SiON层中的一种，其厚度为20～100nm；所述减反射层为CrON和SiON介质层中的一种，其厚度为20～100nm；所述过渡层的厚度小于所述减反射层的厚度。
5.如权利要求1或2或3或4所述的NiCr系平板太阳能光谱选择性吸收涂层，其特征在于：所述吸收层的第一亚层和第二亚层均为CrON+NiCrON膜和SiON+NiCrON膜中的一种，第一亚层和第二亚层的厚度均为50～100nm；所述第一亚层中NiCr含量的体积百分比大于所述第二亚层中NiCr含量的体积百分比；所述第一亚层中NiCr含量的体积百分比为20～35％，所述第二亚层中NiCr含量的体积百分比为10～25％。
6.如权利要求1或2或3或4所述的NiCr系平板太阳能光谱选择性吸收涂层，其特征在于：所述红外反射层为Cu层、Al层中的一种，其厚度为50～200nm。
7.如权利要求5所述的NiCr系平板太阳能光谱选择性吸收涂层，其特征在于：所述红外反射层为Cu层、Al层中的一种，其厚度为50～200nm。
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