[实用新型]真空炉气体回收及氦氮气体混合系统

权利要求书

1.一种真空炉气体回收及氦氮气体混合系统，是由管道(1)，单向阀(2)，过渡罐(3)，气体净化装置(4)，气体纯度检验装置(5)，排气电磁阀及手动安全阀(6)，增压泵(7)，储气罐(8)，压力传感器(9)，流量检测装置(10)和PLC控制器(11)组成，其特征在于：通过管道(1)将气淬炉的排气连接过度罐(3)，过度罐(3)之后管道连接气体净化装置(4)与气体纯度检验装置(5)，气体纯度检验装置(5)有两个管道，一个是直接排放管道，上面有排气电磁阀和手动安全阀(6)，另一管道连接增压泵(7)，增压泵(7)之后的管道通向储气罐(8)。

2.根据权利要求1所述的一种真空炉气体回收及氦氮气体混合系统，其特征在于：所述的单向阀(2)安装在过渡罐与气淬炉之间。

3.根据权利要求1所述的一种真空炉气体回收及氦氮气体混合系统，其特征在于：所述的压力传感器(9)和流量检测装置(10)安装在增压泵(7)与储气罐(8)之间。

4根据权利要求1所述的一种真空炉气体回收及氦氮气体混合系统，其特征在于：所述的PLC控制器(11)分别与排气电磁阀及手动安全阀(6)、压力传感器(9)和流量检测装置(10)电气连接。