[实用新型]液浆喷射发生器有效
申请号: | 201220120989.6 | 申请日: | 2012-03-28 |
公开(公告)号: | CN202487540U | 公开(公告)日: | 2012-10-10 |
发明(设计)人: | 吕家权;苏贵东;杨成刚;李斌;蔡景洋;张玉刚;唐建荣;黄成高;冯云;连云刚;尹国平;高鹏;刘永鹏;冯大发;聂平建 | 申请(专利权)人: | 贵州振华风光半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/67 |
代理公司: | 贵阳中工知识产权代理事务所 52106 | 代理人: | 刘安宁 |
地址: | 550018 贵*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 喷射 发生器 | ||
技术领域
本实用新型涉及集成电路,进一步来说,涉及半导体集成电路的器件,尤其涉及集成电路封装后外壳的表面处理。
背景技术
小外形陶瓷表面贴装(CSOP)集成电路封装过程中,采用金钢砂进行表面处理,喷砂产生的粉尘几乎完全通过排风排入大气,对大气造成严重的污染;粉尘的泄漏对生产环境还会造成污染,工人在生产过程中必须佩戴“自吸过滤式呼吸保护器”,才能尽可能地降低对人体产生的危害。显然不适应 “低碳、环保,节能、减排”的要求。
工艺上,在喷砂过程中,金钢砂在高速运行中与器件外引线摩擦形成高压静电,静电放电会对器件造成的损坏,特别是一些抗静电能力差的器件经喷砂表面处理后会完全失效。
经检索,尚无涉及液浆喷射发生器的中国专利申请件。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种液浆喷射发生器,以克服现有技术的缺陷,更好地解决现有的喷砂表面处理工艺对器件静电损伤、对大气环境造成污染、对人体产生的危害等问题。
设计人提供的液浆喷射发生器,是由工作台、液浆回收槽、液浆搅拌系统、喷头和防护隔离罩5个部分组成的,其中:工作台由台板和台柱组成,台柱支撑台板,台板中部开有一个圆形孔;液浆回收槽安装在台板上方,液浆搅拌系统安装在台板下方,防护隔离罩置于台板上方、罩在液浆回收槽外部;液浆回收槽由一个长方形的槽体和一个圆筒形的回流管组成,槽体内有一带小孔的隔板将其分为上下两部分,槽体下部四周有边、中心有回流管;液浆搅拌系统由液浆筒、鼓泡搅拌导管、液浆导管组成,鼓泡搅拌导管和液浆导管分别插入液浆筒之中;喷头为一根直管与一根支管交叉的三通形,其支管是液浆进口,直管两端是液浆喷射出口和压缩空气进口;喷头的液浆进口有软管连接到液浆导管,压缩空气进口11与压缩空气管道连接;防护隔离罩是一个透明罩,其底部开有液浆回收槽安装孔,侧面开有传递窗口,顶部开有水雾排气孔,正面开有两个操作孔。
上述台板中部开的圆形孔直径与液浆回收槽的回流管外径一致。
上述防护隔离罩底板开的收槽安装孔为长方形,尺寸与液浆回收槽外形一致。
液浆喷射发生器使用时,启动液浆搅拌系统,一方面通过压缩空气鼓泡搅拌液浆;另一方面压缩空气将液浆压入喷头,液浆喷射处理器件的表面,实行喷砂表面处理;过程中的水雾由防护隔离罩的排气孔排出。
本实用新型的技术原理是:根据空气动力学的基本原理,当气体高速通过管道时,在管道璧附近的压力减小,管壁处压力的大小与气体通过管道的速度成反比,速度越大管壁处压力越小,在管路中开一支路,将支路连接管道放入金刚砂与水的混合物搅拌系统中,在大气压力的作用下,利用金刚砂与水混合物喷射处理器件的表面。
本实用新型的液浆喷射发生器,克服了原有技术的缺陷,避免了表面处理工艺对器件产生的静电损伤,大大减少了对大气环境造成污染、对人体产生的危害,而且液浆可以循环利用,达到 “低碳、环保,节能、减排”的要求。本实用新型结构简单,使用方便,效果良好;适用于生产集成电路的企业。
附图说明
图1为液浆喷射发生器结构示意图,图2为喷头剖视图,图3为液浆回收槽剖视图,图4 为液浆搅拌系统剖视图,图5为防护隔离罩构造示意图。图中1为台板,2为台柱,3为槽体,4为回流管,5为带小孔的隔板,6为液浆筒,7为鼓泡搅拌导管,8为液浆导管,9为液浆进口,10为液浆喷射出,11为压缩空气进口,12为安装孔,13为传递窗口,14为水雾排气孔,15为操作孔,16为软管。
具体实施方式
一台液浆喷射发生器如图1,它是由工作台、液浆回收槽、液浆搅拌系统、喷头和防护隔离罩5个部分组成的,其中:工作台由台板1和台柱2组成,台柱2支撑台板1,台板1中部开有一个圆形孔;液浆回收槽安装在台板1上方,液浆搅拌系统安装在台板1下方,防护隔离罩置于台板1上方、罩在液浆回收槽外部;液浆回收槽由一个长方形的槽体3和一个圆筒形的回流管4组成,槽体内有一带Ф5mm小孔的隔板5将其分为上下两部分,小孔按50mm×50mm均匀分布;槽体3下部四周有边、中心有回流管4;液浆搅拌系统由液浆筒6、鼓泡搅拌导管7、液浆导管8组成,鼓泡搅拌导管7和液浆导管8分别插入液浆筒6之中;喷头为一根直管与一根支管交叉的三通形,其支管是液浆进口9,直管两端是液浆喷射出口10和压缩空气进口11;喷头的液浆进口9有软管16连接到液浆导管8,压缩空气进口11与压缩空气管道连接;防护隔离罩是一个透明罩,其底部开有液浆回收槽安装孔12,侧面开有传递窗口13,顶部开有水雾排气孔14,正面开有两个操作孔15。
台板1中部开的圆形孔直径与液浆回收槽的回流管4外径均为Ф40mm。泡搅拌导管内径为Ф6mm,液浆导管内径为Ф10mm。喷管的液浆进口内径为Ф6mm,液浆喷射出口和压缩空气进口内径为Ф8mm。防护隔离罩底板开的安装孔12为长方形,尺寸与液浆回收槽外形一致;传递窗口直径为Ф300mm,水雾排气孔14直径为Ф110mm,操作孔15直径为Ф150mm。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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