[实用新型]可调式基于MEMS滤波的红外探测器有效
| 申请号： | 201220121137.9 | 申请日： | 2012-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN202599535U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 黄立;周文洪 | 申请（专利权）人： | 武汉高德红外股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 唐正玉 |
| 地址： | 430223 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 调式 基于 mems 滤波 红外探测器 | ||
1.可调式基于MEMS滤波的红外探测器，主要包括微型法布里-泊罗干涉仪、红外探测器(1)，其特征在于：在红外探测器(1)表面设有金属焊盘(8)；所述的微型法布里-泊罗干涉仪由上层平行板、下层平行板和中间的空腔(6)构成，所述的上层平行板包括SiN材料制备的平行板、可动悬臂梁(3)、金属电极(5)、布拉格反射镜(7)和单面的金属焊盘(8)，在SiN材料制备的平行板上设有可动悬臂梁(3)、金属电极(5)、外部偏置电压的引线(4)、布拉格反射镜(7)和单面的金属焊盘(8)；所述的下层平行板包括SiN材料制备的平行板、金属电极(5)、布拉格反射镜(7)和双面的金属焊盘(8)，在SiN材料制备的平行板上对应地设有金属电极(5)、外部偏置电压的引线(4)、布拉格反射镜(7)和双面的金属焊盘(8)；红外探测器(1)的金属焊盘与下层平行板的下表面金属焊盘(8)焊接在一起，下层平行板的上表面金属焊盘(8)与上层平行板的金属焊盘(8)焊接在一起。
2.可调式基于MEMS滤波的红外探测器，主要包括微型法布里-泊罗干涉仪、红外探测器，其特征在于：在红外探测器(16)上设有SiN缓冲层(17)，SiN缓冲层上设有下金属电极(15)、外部偏置电压引线(14)和下布拉格反射镜(13)；在下布拉格反射镜(13)上设有微悬臂梁(12)，并在微悬臂梁上设有上金属电极(10)、外部偏置电压引线(14)和上布拉格反射镜(11)。
3.根据权利要求1或2所述的可调式基于MEMS滤波的红外探测器，其特征在于：所述的红外探测器(1)选用采用器件工艺技术制备的红外探测器。
4.根据权利要求1或2所述的可调式基于MEMS滤波的红外探测器，其特征在于：所述的微型法布里-泊罗干涉仪选用采用MEMS技术制备的微型法布里-泊罗干涉仪。
5.如权利要求1或2所述的可调式基于MEMS滤波的红外探测器，其特征在于：所述的布拉格反射镜由多层膜系构成，对红外波段的反射率高于90％，而吸收率低于10％。
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