[实用新型]适用于多线切割机加工时工件装载的夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种适用于多线切割机加工时工件装载的夹具。

背景技术

随着半导体、太阳能光伏、LED等产业的发展，多线切割机在相关领域的应用日益广泛。多线切割机在加工作业时需要将待加工件如硅晶锭、蓝宝石晶锭等通过一定的方法装载到多线切割机上，所述的装载方法将会影响加工品的质量与产量。

常见的装载方法是采用粘结胶进行粘结装载，一般流程是：第一步将待加工件(硅晶锭、蓝宝石晶锭等)通过粘结胶粘结在由玻璃、树脂、石墨等原料制成的垫条(BEAM)上进行固化。第二步再用粘结胶将完成固化后的BEAM的另一面用粘结的方法装载到不锈钢基板上。第三步将完成上述粘结的不锈钢基板通过螺钉紧固到多线切割机的夹紧轨道(Clamping rail)上，完成工件最终加载。

在上述流程中，前两步加载需要用到粘结胶，在实际生产中，有诸多因素会影响粘结的质量，从而影响切割质量。比如，现在的胶通常由两种成分按比例配制，如果比例不当，就会影响胶的粘结力；粘结胶作为一种化学品，其性能受使用现场环境温度影响较大，夏季与冬季胶体的粘度表现就明显不一致，当胶体粘度偏小时，流动性变大，粘结胶易被挤出，造成粘结层薄弱，粘结力下降；粘结面的表面光洁度与洁净度也会对粘结质量造成重大影响；操作工的人为因素也将影响粘结质量。所以，在上述的装载方法中存在的问题主要有：第一，如果工件的加载粘结质量不保证，就会发生切割中的晶锭松动甚至脱落，加工品表面就会出现扭曲变形，无法保证原有的厚度与平整度要求，造成大量不良片；第二，工件粘结过程中因为工件清洁、胶体固化需要耗费较多的工时，不利于高效生产；第三，一旦粘结完成，所有参数都将定型，不利于工艺修正；第四，粘结用胶均为化学品，而且不能自行降解，按ISO 14001环境体系的要求，此类物品均需要按“危险固废”处理，因此粘结胶的大量使用易造成环境危害。

专利号为201110076023.7，专利名称为《辅助多线切割机切割单晶硅棒的固定装置》。

该专利中，硅晶棒用胶粘接在粘接条的上表面，然后将粘接板置于底部，再将粘接条和锁紧条放入粘接板顶面的凹形槽内，并使粘接板、粘接条和锁紧条相应的侧壁相互贴紧啮合。再用紧固螺栓，并垫入碗形垫片从下至上固定在螺栓孔上，将锁紧条固定在粘接板上。水平向设置的螺栓经凹形槽壁上的螺纹通孔旋入，利用螺栓端部将锁紧条顶住，达到进一步固定粘接条的目的。

该专利中，使用了粘接板、粘接条和锁紧条，直接在粘接板上挖槽，再将锁紧条卡入粘接条与粘接板组装好后的空隙内，此种固定方法在粘接条和锁紧条之间使用了过多的凸形结构(由若干个螺栓孔固定，螺栓孔固定的时候，使用了凸形结构，详见专利号为201110076023.7，专利名称为《辅助多线切割机切割单晶硅棒的固定装置》的具体实施例)，而且粘接条需要卡入粘结板的凹槽内；过多的机械加工与机械联接无法保证加工件、粘接板和设备三者之间平面的一致性，如果一致性不能保证，最终会使得加工件与线切割机的线网接触不一致，线网线弓发生变异，导致不良品发生。该专利使用的方法使得粘接条通过锁紧条的固定在粘接板上，没有调节措施，等同于粘结胶固化后的情形，不具备工件的工艺调整的可行性，在实际使用中具有局限性。该专利使用了多个螺栓孔固定，在实际操作中，步骤比较繁琐(需要对多螺栓孔进行安装，并且螺栓孔固定的时候，使用了凸形结构，操作的时候难免效率比较低)。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种安装简单牢固、且可以调节的适用于多线切割机加工时工件装载的夹具。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种适用于多线切割机加工时工件装载的夹具，包括加工工件垫条和不锈钢基板；加工工件垫条的左侧面设置有左凹槽，加工工件垫条的右侧面设置有右凹槽；所述加工工件垫条左侧设置有左固定钢条，所述左固定钢条上相对应于左凹槽设置有左凸起块；所述左固定钢条上设置有至少一个的上下贯通的左固定钢条沉孔；所述加工工件垫条右侧设置有右固定钢条，所述右固定钢条上相对应于右凹槽设置有右凸起块；所述右固定钢条上设置有至少一个的上下贯通的右固定钢条沉孔；所述不锈钢基板上相对应于左固定钢条沉孔设置有左固定孔，相对应于右固定钢条沉孔设置有右固定孔；所述左凸起块卡入左凹槽中，所述右凸起块卡入右凹槽中；所述左固定钢条和不锈钢基板之间通过依次穿过左固定钢条沉孔和左固定孔的左固定螺钉相连接，所述右固定钢条和不锈钢基板之间通过依次穿过右固定钢条沉孔和右固定孔的右固定螺钉相连接。