[实用新型]PECVD上料区防撞舟保护装置有效
| 申请号： | 201220124747.4 | 申请日： | 2012-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN202610316U | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 蒋科;张洋;孙袁野;雷凯;宁成森 | 申请（专利权）人： | 上饶光电高科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所 36100 | 代理人： | 杨志宇 |
| 地址： | 334100 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | pecvd 上料区防撞舟 保护装置 | ||
【权利要求书】：
1.PECVD上料区防撞舟保护装置，包括上料设备（1）、继电器（2）、Ⅰ号光电传感器（3）和Ⅱ号光电传感器（4）；其特征在于：上料设备（1）通过导线与继电器（2）串联，继电器（2）通过导线分别与Ⅰ号光电传感器（3）和Ⅱ号光电传感器（4）串联，Ⅰ号光电传感器（3）与Ⅱ号光电传感器（4）通过导线并联。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
