[实用新型]一种带籽晶绳挡板的籽晶绳固定轮有效

专利信息
申请号: 201220129799.0 申请日: 2012-03-30
公开(公告)号: CN202543388U 公开(公告)日: 2012-11-21
发明(设计)人: 唐旭辉;高彬彬 申请(专利权)人: 江苏聚能硅业有限公司
主分类号: C30B15/30 分类号: C30B15/30
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214105 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 籽晶 挡板 固定
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及单晶硅制造过程中使用的籽晶绳提升机构领域,具体来说是一种带籽晶绳挡板的籽晶绳固定轮。

背景技术

目前,单晶硅制造行业采用的CZ直拉法技术生产单晶硅晶体,在提升晶体的时候会用到籽晶绳提升机构,籽晶绳提升机构由伺服电机、主动轮、从动轮、籽晶绳等组合而成。要实现高精度的籽晶绳传动,必须保证籽晶绳传动的平稳和协调性,传动中应尽量避免籽晶绳之间摩擦、缠绕和传动絮乱,因此绳槽的设计是籽晶绳提升机构的关键部分。

常见的绳传动绳轮主要有光筒(无绳槽)和螺旋导向槽结构方式,(对于螺旋槽)或不规则的(光筒)的螺旋运动,传动中,籽晶绳一方面沿绳轮周向卷绕,同时又绳轮轴向移动,籽晶绳沿轮轴轴向移动使籽晶绳传动不可避免的现象,这样很容易导致籽晶绳脱槽、折断,使晶棒掉入埚内,造成漏硅等重大损失。

因此,特别需要一种带籽晶绳挡板的籽晶绳固定轮,以解决现有技术中存在的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中籽晶绳容易出现脱槽的问题,提供一种带籽晶绳挡板的籽晶绳固定轮来解决上述问题。

为了实现上述目的,本实用新型的技术方案如下:

一种带籽晶绳挡板的籽晶绳固定轮,包括籽晶绳、籽晶绳槽和籽晶绳固定轮本体,所述籽晶绳的一端通过籽晶绳槽固定在籽晶绳固定轮本体的一个端面上,所述籽晶绳固定轮本体的轴心设置有旋转轴,其特征在于:所述籽晶绳槽上设置有将籽晶绳限定在籽晶绳槽内的籽晶绳挡板。

在本实用新型中,所述籽晶绳槽为弧形的籽晶绳槽。

在本实用新型中,所述籽晶绳挡板的形状与籽晶绳槽的形状一致,所述籽晶绳挡板的宽度大于籽晶绳槽的宽度。

在本实用新型中,所述籽晶绳挡板通过螺钉设置在籽晶绳固定轮本体的一个端面上。

在本实用新型中,所述籽晶绳的末端通过压板固定在籽晶绳槽上。

本实用新型的一种带籽晶绳挡板的籽晶绳固定轮,与现有产品相比,在籽晶绳槽上设置用将籽晶绳限定在籽晶绳槽内的籽晶绳挡板,使本实用新型在使用的时候,避免籽晶绳脱槽和折断,避免晶棒掉入埚内,造成漏硅等重大损失,结构简单,十分实用,实现本实用新型的目的。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

为使对本实用新型的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解与认识,用以较佳的实施例及附图配合详细的说明,说明如下:

参见图1,一种带籽晶绳挡板的籽晶绳固定轮,包括起拉晶作用的籽晶绳100、用于放置籽晶绳100的籽晶绳槽200和达到升降效果的籽晶绳固定轮本体300,籽晶绳100的一端通过籽晶绳槽200固定在籽晶绳固定轮本体300的一个端面上,籽晶绳固定轮本体300的轴心设置有旋转轴400,籽晶绳槽200上设置有将籽晶绳100限定在籽晶绳槽200内的籽晶绳挡板500。

籽晶绳槽200为弧形的籽晶绳槽200,在使用的时候,达到较好的受力效果。

籽晶绳挡板500的形状与籽晶绳槽200的形状一致,籽晶绳挡板500的宽度大于籽晶绳槽200的宽度,达到对籽晶绳100进行限位的效果。

籽晶绳挡板500通过螺钉510设置在籽晶绳固定轮本体300的一个端面上,达到方便安装的目的。

籽晶绳100的末端通过压板600固定在籽晶绳槽200上,达到牢固固定的目的。

在使用的时候,籽晶绳100缠绕在籽晶绳固定轮本体300上,籽晶绳100的一端通过弧形的籽晶绳槽200连接到压板600上进行固定,籽晶绳挡板500盖在籽晶绳槽200上,从而在旋转轴400正向或反向旋转的时候,对籽晶绳起到了限位的作用。

本实用新型的一种带籽晶绳挡板的籽晶绳固定轮,与现有产品相比,在籽晶绳槽200上设置用将籽晶绳100限定在籽晶绳槽200内的籽晶绳挡板500,使本实用新型在使用的时候,避免籽晶绳100脱槽和折断,避免晶棒掉入埚内,造成漏硅等重大损失,结构简单,十分实用,实现本实用新型的目的。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

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