[实用新型]一种超纯水取样器有效

专利信息
申请号: 201220130408.7 申请日: 2012-03-30
公开(公告)号: CN202582947U 公开(公告)日: 2012-12-05
发明(设计)人: 王全军;金万石;李丽;李政良 申请(专利权)人: 北京京东方光电科技有限公司
主分类号: G01N1/20 分类号: G01N1/20
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华
地址: 100176 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 超纯水 取样
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及液晶面板以及半导体生产加工中超纯水生产使用器具技术领域,特别涉及一种超纯水取样器。

背景技术

超纯水,是一种纯度极高的水,在目前的液晶生产中和半导体生产中广泛用到超纯水。在超纯水的生产和使用环节,需要对超纯水的水质进行取样检测,检测内容包括超纯水的电阻率以及细菌、颗粒、超微量元素含量等,超纯水的纯度和微量不纯物都需要控制在极低的范围(ppb以下),超过规范的超纯水会对产品的良率造成不可预期的影响。

空气中存在的悬浮颗粒、离子、有机颗粒等会是影响超纯水纯度和微量不纯物的重要因素,甚至在100级的洁净室内也存在上述的粒子;因此,超纯水取样时,需要极力避免空气中的粒子对超纯水的水样造成影响,以免影响超纯水检测的准确性。

因此,在超纯水的生产使用过程中,超纯水的检测取样需要使用专门的取样器进行取样,如图1所示,图1为现有技术中使用的超纯水取样器的结构示意图。

超纯水取样器包括具有装载腔的取样瓶1,取样瓶1的开口端设置有密封盖2,密封盖2通过旋紧的方式与取样瓶1的开口密封配合;密封盖2上设置有一端伸入取样瓶1的装载腔底部的输入管3,和内端位于装载腔顶端的输出管4;输入管3上设置有第一控制阀5,输出管4上设置有第二控制阀6。

在超纯水取样器取样时,将第一控制阀5和第二控制阀6打开,且将输入管3的输入端与超纯水存储设备的输出接口7联通,输出管4的排水端与排水管8的排水接口连通;超纯水9通过输入管3流入取样瓶1的装载腔,取样瓶1中的气体通过输出管4流出;当取样瓶1的装载腔充满超纯水9时,继续向取样瓶1的装载腔充入超纯水9,部分超纯水9通过输出管4流出取样瓶1,以实现对取样瓶1装载腔的冲刷。

现有技术中的超纯水取样器中,在对其取样瓶1的装载腔进行冲刷,以便将装载腔中的空气等杂质排出装载腔时,由于密封盖2与取样瓶1之间采用旋紧的方式密封配合,密封盖2与取样瓶1之间存在配合间隙,超纯水9很难将配合间隙中的杂质彻底清除;而且,取样瓶1的开口直径较大,而输出管4内端的直径较小,且取样瓶1的侧壁与密封盖2的交接处为直角,从而导致取样瓶1的开口与密封盖2之间存在超纯水9的冲刷死角区域D;死角区域D如图1中所示;若输出管4输出超纯水9的速率较慢,则输出管4处超纯水9的流动很难影响到距离输出管4内端较远的冲刷死角区域D内的超纯水9,因此冲刷死角区域D内的超纯水9内的超纯水9流动缓慢,其直角残留的颗粒粒子不易冲刷;若输出管4输出超纯水9的速率较快,则输出管4处超纯水9的流动会导致距离输出管4内端较远的冲刷死角区域D内的超纯水9形成涡流,涡流内具有杂质的超纯水9很难进入输出管4。因此,由于冲刷死角区域D的存在,使用现有技术中的超纯水取样器进行取样时,需要经过很长时间的冲洗才能满足对取样瓶主体的装载腔的冲洗需求,不仅需要大量的操作时间,同时还浪费了大量的超纯水资源,不利于对取样瓶1装载腔的彻底清洗。

因此,如何提供一种能够方便地对取样瓶主体的装载腔进行冲洗的超纯水取样器,以节省超纯水取样操作时间和超纯水资源,是本领域技术人员需要解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种超纯水取样器,该超纯水取样器能够方便地对取样瓶主体的装载腔进行冲洗,从而节省超纯水取样操作时间和超纯水资源。

为达到上述目的,本实用新型提供以下技术方案:

一种超纯水取样器,包括取样瓶主体、导入管以及导出管;所述取样瓶主体内形成装载腔,所述导入管和导出管均与所述装载腔连通;

所述取样瓶主体第一端的尺寸沿远离所述取样瓶主体第二端的方向逐渐缩小,形成具有倒喇叭口状结构的第一瓶颈;所述导入管的内端口密封于所述第一瓶颈的外端口;

所述取样瓶主体第二端的尺寸沿远离所述取样瓶主体第一端的方向逐渐缩小,形成具有倒喇叭口状结构的第二瓶颈;所述导出管的内端口密封于所述第二瓶颈的外端口;

所述导入管上设置有第一控制阀门,所述导出管上设置有第二控制阀门。

优选地,所述取样瓶主体与所述第一瓶颈和第二瓶颈形成橄榄状结构。

优选地,所述取样瓶主体为圆柱状。

优选地,所述第二瓶颈内壁与所述取样瓶主体的内壁之间的形成的夹角大于150°。

优选地,所述第一瓶颈内壁与所述取样瓶主体内壁的交接处具有圆弧状结构;所述第二瓶颈内壁与所述取样瓶主体内壁的交接处具有圆弧状结构。

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