[实用新型]一种化学机械研磨头的夹具

权利要求书

1.一种化学机械研磨头的夹具，其特征在于，包括：

塑料缓冲垫及不锈钢夹具，所述塑料缓冲垫与不锈钢夹具拧合连接。

2.如权利要求1所述的化学机械研磨头的夹具，其特征在于，所述不锈钢夹具有均匀分布的多个通孔及与每个通孔连通的卡槽。

3.如权利要求2所述的化学机械研磨头的夹具，其特征在于，所述塑料缓冲垫具有多个卡榫，每个卡榫包括榫头和榫体，其中，每个榫头容置于一个卡槽内，每个榫体容置于一个通孔中。

4.如权利要求3所述的化学机械研磨头的夹具，其特征在于，所述榫头的高度小于等于所述卡槽的深度。

5.如权利要求3所述的化学机械研磨头的夹具，其特征在于，所述榫头的宽度小于等于所述卡槽的宽度。

6.一种化学机械研磨头的夹具，其特征在于，包括：

塑料缓冲垫；

不锈钢夹具，所述不锈钢夹具通过固定装置与所述塑料缓冲垫固定。

7.如权利要求6所述的化学机械研磨头的夹具，其特征在于，所述固定装置为螺栓。

8.如权利要求7所述的化学机械研磨头的夹具，其特征在于，所述不锈钢夹具有均匀分布的多个通孔。

9.如权利要求8所述的化学机械研磨头的夹具，其特征在于，所述塑料缓冲垫具有对应于每个通孔的未贯通塑料缓冲垫的固定孔。

10.如权利要求9所述的化学机械研磨头的夹具，其特征在于，所述螺栓的高度大于通孔的深度，且小于等于通孔与固定孔的深度之和。