[实用新型]多晶硅生产的尾气回收处理系统

权利要求书

1.多晶硅生产的尾气回收处理系统，包括由管道连接的吸收塔（3）、脱吸塔Ⅰ（1），其特征在于，还包括与脱吸塔Ⅰ（1）通过管道连接的脱吸塔Ⅱ（2）。

2.根据权利要求1所述的多晶硅生产的尾气回收处理系统，其特征在于，所述脱吸塔Ⅰ（1）的塔顶设置有开口Ⅰ（9）和开口Ⅱ（10）。

3.根据权利要求2所述的多晶硅生产的尾气回收处理系统，其特征在于，所述脱吸塔Ⅱ（2）塔顶设置有开口Ⅴ（13），所述脱吸塔Ⅱ（2）塔底设置有开口Ⅵ（14）。

4.根据权利要求3所述的多晶硅生产的尾气回收处理系统，其特征在于，所述吸收塔（3）塔底与脱吸塔Ⅰ（1）中部通过管道连通，所述脱吸塔Ⅰ（1）塔底与吸收塔（3）顶部通过管道连通，所述开口Ⅱ（10）通过管道与脱吸塔Ⅱ（2）中部连通，所述开口Ⅰ（9）与所述吸收塔（3）塔底的尾气进气口（19）连通。

5.根据权利要求1-4任一所述的多晶硅生产的尾气回收处理系统，其特征在于，所述脱吸塔Ⅰ（1）的中上部设置有回流组件Ⅲ。

6.根据权利要求5所述的多晶硅生产的尾气回收处理系统，其特征在于，所述回流组件Ⅲ由冷凝器（4）和管道组成。

7.根据权利要求5所述的多晶硅生产的尾气回收处理系统，其特征在于，在所述脱吸塔Ⅰ（1）的开口Ⅰ（9）和开口Ⅱ（10）之间通过管道连接有回流组件Ⅰ，所述回流组件Ⅰ包括冷凝器Ⅰ（21）和设置在所述冷凝器Ⅰ（21）输出端的管道上的回流罐Ⅰ（23），所述回流罐Ⅰ（23）顶部设置有开口Ⅲ（11），所述回流罐Ⅰ（23）的输出端管道上设置有开口Ⅳ（12）；所述回流罐Ⅰ（23）的输出端管道上设置的开口Ⅳ（12）通过管道与脱吸塔Ⅱ（2）中部连通，所述开口Ⅲ（11）与所述吸收塔（3）塔底设置的尾气进气口（19）连通。

8.根据权利要求5所述的多晶硅生产的尾气回收处理系统，其特征在于，在所述脱吸塔Ⅱ（2）塔顶还设置有开口Ⅷ（16），在所述塔顶开口Ⅴ（13）和开口Ⅷ（16）之间通过管道连接有回流组件Ⅱ，所述回流组件Ⅱ包括冷凝器Ⅱ（22）和设置在冷凝器Ⅱ（22）输出端管道上的回流罐Ⅱ（24），所述回流罐Ⅱ（24）顶部设置有开口Ⅶ（15）。

9.根据权利要求5所述的多晶硅生产的尾气回收处理系统，其特征在于，所述脱吸塔Ⅱ（2）还设置有再沸器Ⅱ（8），所述脱吸塔Ⅱ（2）塔底还设置有开口Ⅹ（18），在脱吸塔Ⅱ（2）塔底的开口Ⅵ（14）和开口Ⅹ（18）之间通过管道连接所述再沸器Ⅱ（8），在所述再沸器Ⅱ（8）的输入端管道上设置有开口Ⅸ（17）。

10.根据权利要求5所述的多晶硅生产的尾气回收处理系统，其特征在于，所述多晶硅生产的尾气回收处理系统还设置有换热器（5），所述连通吸收塔（3）塔底与脱吸塔Ⅰ（1）中部的管道及所述连通脱吸塔Ⅰ（1）塔底与吸收塔（3）顶部的管道在换热器（5）进行热交换。

11.根据权利要求2-4任一所述的多晶硅生产的尾气回收处理系统，其特征在于，在所述脱吸塔Ⅰ（1）的开口Ⅰ（9）和开口Ⅱ（10）之间通过管道连接有回流组件Ⅰ，所述回流组件Ⅰ包括冷凝器Ⅰ（21）和设置在所述冷凝器Ⅰ（21）输出端的管道上的回流罐Ⅰ（23），所述回流罐Ⅰ（23）顶部设置有开口Ⅲ（11），所述回流罐Ⅰ（23）的输出端管道上设置有开口Ⅳ（12）；所述回流罐Ⅰ（23）的输出端管道上设置的开口Ⅳ（12）通过管道与脱吸塔Ⅱ（2）中部连通，所述开口Ⅲ（11）与所述吸收塔（3）塔底设置的尾气进气口（19）连通。

12.根据权利要求11所述的多晶硅生产的尾气回收处理系统，其特征在于，在所述脱吸塔Ⅱ（2）塔顶还设置有开口Ⅷ（16），在所述塔顶开口Ⅴ（13）和开口Ⅷ（16）之间通过管道连接有回流组件Ⅱ，所述回流组件Ⅱ包括冷凝器Ⅱ（22）和设置在冷凝器Ⅱ（22）输出端管道上的回流罐Ⅱ（24），所述回流罐Ⅱ（24）顶部设置有开口Ⅶ（15）。

13.根据权利要求12所述的多晶硅生产的尾气回收处理系统，其特征在于，所述脱吸塔Ⅱ（2）还设置有再沸器Ⅱ（8），所述脱吸塔Ⅱ（2）塔底还设置有开口Ⅹ（18），在脱吸塔Ⅱ（2）塔底的开口Ⅵ（14）和开口Ⅹ（18）之间通过管道连接所述再沸器Ⅱ（8），在所述再沸器Ⅱ（8）的输入端管道上设置有开口Ⅸ（17）。