[实用新型]一种单晶硅生长热场的新型保温装置

权利要求书

1.一种单晶硅生长热场的新型保温装置，包括设置在筒体内的热屏、坩埚支撑架、石英坩埚和石墨加热筒，所述筒体的上端设置有开口，所述热屏覆盖在筒体的开口处，所述坩埚支撑架的一端设置在筒体的底部，另一端支撑在石英坩埚的底部，所述石墨加热筒设置在筒体内侧壁和石英坩埚之间，其特征在于，还包括保温装置，所述的保温装置包含设置在筒体内侧壁上的上石墨保温筒、中石墨保温筒和下石墨保温筒，所述上石墨保温筒、中石墨保温筒和下石墨保温筒为分体式的结构，所述上石墨保温筒设置在中石墨保温筒上，中石墨保温筒设置在下石墨保温筒上。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅生长热场的新型保温装置，其特征在于：所述的保温装置还包含设置在筒体底部的防漏底盘和设置在防漏底盘上的防漏板。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅生长热场的新型保温装置，其特征在于：所述石英坩埚的外侧包裹有防止石英坩埚变形的石墨坩埚。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅生长热场的新型保温装置，其特征在于：所述石英坩埚为U型的石英坩埚，所述石墨坩埚包裹在U型石英坩埚的外侧。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅生长热场的新型保温装置，其特征在于：所述坩埚支撑架包含石墨托盘、坩埚托盘和支撑柱，所述石墨托盘设置在石墨坩埚底部，坩埚托盘设置在石墨托盘底部，所述支撑柱的一端连接坩埚托盘，另一端连接到筒体的底部。