[实用新型]薄膜石英舟

权利要求书

1.薄膜石英舟，包括舟首、舟身和舟尾，其特征在于：所述的舟首和舟尾均由碳化硅的U型片（1）、碳化硅的插槽片（2）和石英的插接片（3）构成，以所述U型片（1）为连接载体，所述U型片（1）上水平地固定连接有所述插槽片（2），所述插槽片（2）上垂直地插接有所述插接片（3）；所述舟身由石英的侧板（4）和碳化硅的底板（5）构成，所述底板（5）两端均与所述U型片（1）固定连接。

2. 根据权利要求1所述的一种薄膜石英舟，其特征在于：所述侧板（4）固定连接在所述插槽片（2）的两端。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜石英舟，其特征在于：所述U型片（1）的两端都具有回转部。

4. 根据权利要求1所述的一种薄膜石英舟，其特征在于：每个所述的U型片（1）上设置的插槽片（2）均具有两个。

5. 根据权利要求1所述的一种薄膜石英舟，其特征在于：所述石英舟还包括石英盖板（6）。

6. 根据权利要求1所述的一种薄膜石英舟，其特征在于：所述石英舟还包括一个插接杆（7），所述插接杆（7）插在所述插接片（3）的预制孔中，并与所述插槽片（2）固定。