[实用新型]薄膜石英风罩有效

专利信息
申请号: 201220135640.X 申请日: 2012-03-31
公开(公告)号: CN202534675U 公开(公告)日: 2012-11-14
发明(设计)人: 宋伟宏;计斌;陆建国;沈根法 申请(专利权)人: 湖州奥博石英科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232 代理人: 赵卫康
地址: 313000 浙江省湖州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 薄膜 石英
【权利要求书】:

1.薄膜石英风罩,包括罩体(1)和与所述罩体(1)一体连接的罩口(2),其特征在于:所述罩体(1)是由多块石英片拼接成的抽壳状结构。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜石英风罩,其特征在于:所述罩体(1)由八块石英片构成;所述八块石英片中,四块作为侧板的石英片构成所述罩体(1)的主体结构,另四块石英片形状相同,位于所述主体结构与所述罩口(2)之间,使得所述主体结构与所述罩口(2)无缝拼接。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜石英风罩,其特征在于:所述罩体由十块石英片构成;所述十块石英片中,有六块石英片构成罩体的主体结构,其中四块作为侧板(11),另两块作为与所述罩口的衔接板(12);所述十块石英片中,另四块石英片形状相同,位于所述主体结构与所述罩口(2)之间,使得所述主体结构与所述罩口(2)无缝拼接。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜石英风罩,其特征在于:所述风罩还包括边框,所述边框无缝拼接在所述罩体周向的缘口上。

5.根据权利要求4所述的一种薄膜石英风罩,其特征在于:所述边框是由四个条状石英片构成。

6.根据权利要求1所述的一种薄膜石英风罩,其特征在于:所述风罩还包括两个固定座(3),所述固定座(3)连接在所述罩体(1)的同一端。

7.根据权利要求6所述的一种薄膜石英风罩,其特征在于:所述风罩还包括两个支撑件(4),每个所述的固定座(3)都连接有一个所述的支撑件(4)。

8.根据权利要求3所述的一种薄膜石英风罩,其特征在于:所述罩口(2)与所述衔接板(12)的角度为100~150°。

9.根据权利要求3所述的一种薄膜石英风罩,其特征在于:所述罩口(2)与所述衔接板(12)的角度为120~150°。

10.根据权利要求3所述的一种薄膜石英风罩,其特征在于:所述罩口(2)与所述衔接板(12)的角度为120~130°。

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