[实用新型]一种非晶微晶硅叠层薄膜太阳能电池

说明书

技术领域

本实用新型属于非晶/微晶硅叠层薄膜太阳能电池领域，涉及非晶/微晶硅叠层薄膜太阳能电池的组成结构。

背景技术

世界能源的需求使太阳电池技术得到了迅猛的发展，特别是今天，薄膜太阳能电池应用越来越广泛，人们为了增加企业的竞争力，在太阳能电池领域开发了很多新的产品，如非晶/微晶硅叠层薄膜太阳能电池，人们对非晶/微晶硅叠层薄膜太阳能电池的背电极的制作工艺一直在摸索中前行，传统的氧化锌和金属复合而成的背电极层的原材料成本还有待降低、且导电性和热传导性还有待提高。

发明内容

本实用新型为了在现有技术的基础上降低背电极层的原料成本、及提高背电极的导电性和热传导性，设计了一种非晶微晶硅叠层薄膜太阳能电池，本实用新型提供的背电极具有良好的导电性和热传导性，且达到了降低原材料的成本的目的。

本实用新型采用的技术方案是：一种非晶微晶硅叠层薄膜太阳能电池，结构中包括TCO玻璃、非晶硅/微晶硅叠层、背电极层、及背板玻璃，关键在于：所述的背电极层是由4层金属膜层组成的复合结构。

所述的4层金属膜层由里到外依次为：钛层、镍层、银层、及镍钒合金层。

本实用新型的关键在于：1）钛层，由于钛Ti这种金属具有好的粘附性，所以用此金属可起到好的粘附作用，有效地防止膜层脱落；2）镍层，镍Ni为过渡金属；3）银层，起到增加光的反射；4）镍钒合金层，主要起到防止银层被氧化的作用。

本实用新型的有益效果是：其一、本实用新型中的背电极较传统的氧化锌和金属复合而成的背电极层的原材料成本降低；其二、本实用新型的背电极具有良好的导电性和热传导性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

附图中，1是TCO玻璃，2是非晶硅/微晶硅叠层，3是钛层，4是镍层、5是银层，6是镍钒合金层。 

具体实施方式

一种非晶微晶硅叠层薄膜太阳能电池，结构中包括TCO玻璃1、非晶硅/微晶硅叠层2、背电极层、及背板玻璃，重要的是：所述的背电极层是由4层金属膜层组成的复合结构。

所述的4层金属膜层由里到外依次为：钛层3、镍层4、银层5、及镍钒合金层6。

所述的钛层3的膜层厚度为95—120nm。

所述的镍层4的膜层厚度为80—100nm。

所述的银层5的膜层厚度为280—300nm。

所述的镍钒合金层6的膜层厚度为50—60nm。

在具体实施时，如图1所示，在TCO玻璃1上沉积非晶硅/微晶硅叠层2后，再在非晶硅/微晶硅叠层2上依次沉积钛层3、镍层4、银层5、及镍钒合金层6。

其中，沉积钛层3时的沉积速率：15—20?/S，膜层厚度为95—120nm；之后在钛层3上沉积镍层4，沉积速率为5—10?/S，膜层厚度为80—100nm；然后在镍层4上沉积银层5，沉积速率为15—20?/S，膜层厚度为280—300nm；最后在银层5上沉积一层镍钒合金层6，沉积速率为5—9?/S，膜层厚度为50—60nm。本实用新型中的背电极镀膜工艺采用蒸发的方法进行，可以大大地降低原材料的成本；且该背电极具有良好的导电性和热传导性。