[实用新型]石英坩埚水套

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种生产石英坩埚过程中使用到的石英坩埚水套。

背景技术

石英坩埚水套是生产石英坩埚过程中用于支撑石英坩埚模具、为石英坩埚提供冷却、保证石英坩埚处于真空环境的设备。现有的石英坩埚水套包括水套壳体，在壳体内壁设有支撑环，水套壳体内部为冷却水腔，在壳体下部设有抽气口及冷却水腔口，所述的冷却水腔口均布在抽气口周围。当石英坩埚位于石英坩埚模具中时，抽真空装置由抽气口将石英坩埚水套与石英坩埚间抽成真空，以避免石英坩埚中含有气泡而影响石英坩埚的质地；由冷却水腔接口向冷却水腔内提供冷却水，以使炽热的石英坩埚更快的定型。由于石英坩埚与水套间的空气的温度极高，导致冷却水在冷却水腔口处被加热，冷却效果差，冷却效率低。且一旦冷却水腔口处发生泄漏，冷却水与高温空气混合后被汽化，进入石英坩埚水套与石英坩埚之间，会破坏真空环境，甚至会造成石英坩埚底部凸起，废品率高。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种冷却效果好、冷却效率高、可保证石英坩埚所处环境真空度、石英坩埚废品率低的石英坩埚水套。

本实用新型是这样实现的：

一种石英坩埚水套，包括水套壳体，水套壳体内部为冷却水腔，在水套壳体内壁设有支撑环，在水套壳体底部设有抽气口与冷却水腔口，其特殊之处是：所述的冷却水腔口均布在水套壳体底面的边缘。

所述的冷却水腔口有四个。

本实用新型的有益效果是：由于冷却水腔口位于水套壳体底面的边缘，远离抽气口，避免了冷却水在被经由抽气口抽出的高温空气加热，冷却效率高、冷却效果好，且一旦冷却水腔口处发生泄漏，冷却水不会被高温空气汽化，保证了石英坩埚所处环境真空度，降低了石英坩埚的废品率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中：水套壳体1，支撑环2，冷却水腔口3，抽气口4。

具体实施方式

如图所示，该石英坩埚水套，包括水套壳体1，水套壳体1内部为冷却水腔，在水套壳体1内壁设有支撑环2，在水套壳体1底部设有冷却水腔口3与抽气口4，所述的冷却水腔口3有四个且均布在水套壳体1底面的边缘。

工作时，抽真空装置经抽气口4将石英坩埚水套与石英坩埚模具之间的空气抽出，形成真空环境，以避免石英坩埚中含有气泡而影响石英坩埚的质地。经冷却水腔口3向冷却水腔中注入冷却水，以冷却石英坩埚使之快速成型。