[实用新型]超洁净电子化学品取样装置有效
| 申请号： | 201220141339.X | 申请日： | 2012-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN202522435U | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 殷建林;曹传兴 | 申请（专利权）人： | 江苏达诺尔半导体超纯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/02 | 分类号： | G01N1/02 |
| 代理公司： | 常熟市常新专利商标事务所 32113 | 代理人： | 何艳 |
| 地址： | 215522 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 洁净 电子 化学品 取样 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种超洁净电子化学品取样装置，包括电子化学品储存罐本体（1）、用于与电子化学品储存罐本体（1）的罐腔相通的出料管(11)以及设在出料管(11)上的出料控制阀(12)，其特征在于：还包括PE袋子(2)、取样瓶(3)和托盘(4)，所述的取样瓶(3)、托盘(4)均置于PE袋子(2)内，且托盘(4)位于取样瓶(3)的正下方，PE袋子(2)袋口朝下，出料管(11)的管口由 PE袋子(2)的袋底(21)穿透处插入PE袋子(2)内，出料管(11)的管口伸入到取样瓶(3)的内部中间位置，同时，袋底(21)的穿透处与出料管(11)之间需夹紧密封。
2.根据权利要求1所述的超洁净电子化学品取样装置，其特征在于所述的袋底(21)与出料管(11)之间通过一管夹(5)夹紧密封。
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