[实用新型]一种石英舟有效
| 申请号： | 201220143507.9 | 申请日： | 2012-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN202513132U | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 汤安民;沈艳;郑金彩;梅晓东;查超麟 | 申请（专利权）人： | 浙江晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 吴关炳 |
| 地址： | 314416 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石英 | ||
【权利要求书】：
1.一种石英舟，包括卡槽棒和支撑卡槽棒的支架（1），所述卡槽棒上设有固定硅片（6）的卡槽（2），其特征在于：所述卡槽棒包括一对左右平行设置的上卡槽棒（3）和一对左右平行设置的下卡槽棒（4），所述上卡槽棒（3）之间的间距大于下卡槽棒（4）之间的间距；所述卡槽（2）均布设置于卡槽棒内侧上部的棱边上，所述各卡槽（2）之间的间距为2mm～3mm，所述卡槽（2）的宽度为0.35mm～0.45mm；在同一横截面上，左侧上卡槽棒（3）所设卡槽的底面和下卡槽棒（4）所设相应卡槽的底面的连接线以及右侧上卡槽棒（3）所设卡槽的底面和下卡槽棒（4）所设相应卡槽的底面的连接线向下延伸后相交构成90°角。
2.如权利要求1所述的一种石英舟，其特征在于：所述卡槽（2）两侧边的顶部设有倒角（5），所述卡槽（2）两侧边顶部的倒角为50°～70°之间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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