[实用新型]一种平板式氧传感器

权利要求书

1.一种平板式氧传感器，包括由七层厚度为0.2-0.25mm的氧化锆陶瓷生片制备而成的传感器芯片，其特征在于：所述传感器芯片从上往下依次为第一层陶瓷生片（14）与第二层陶瓷生片（15）组成的信号功能层、第三层陶瓷生片（16）与第四层陶瓷生片（17）和第五层陶瓷生片（18）组成的参考通道功能层，第六层陶瓷生片（19）与第七层陶瓷生片（20）组成的加热功能层，第一层陶瓷生片（14）的上表面上设置有外电极（3）和信号电极引脚（4）, 外电极（3）上设置有多孔保护层（1），信号电极引脚（4）上设置有引线保护层（2），第二层陶瓷生片（15）和第三层陶瓷生片（16）之间设置有参考电极（6），第五层陶瓷生片（18）和第六层陶瓷生片（19）之间设置有加热器（10），加热器（10）上、下分别设置加热器上绝缘层（9）、加热器下绝缘层（11），加热器（10）上连接有加热电极引脚（13）。

2.根据权利要求1所述的平板式氧传感器，其特征在于：所述第三层陶瓷生片（16）上设置有参考通道（8），所述参考电极（6）设置在参考通道（8）内，参考通道（8）内还设置有参考通道填充条（7）。

3.根据权利要求1所述的平板式氧传感器，其特征在于：所述第六层陶瓷生片（19）与第七层陶瓷生片（20）上设置有加热电极导通小孔（12），加热电极引脚（13）通过加热电极导通小孔（12）引出。

4.根据权利要求1所述的平板式氧传感器，其特征在于：所述第一层陶瓷生片（14）与第二层陶瓷生片（15）上设置有信号电极导通小孔（5）, 信号电极引脚（4）通过信号电极导通小孔（5）引出。