[实用新型]一种石英敏感芯片有效
| 申请号： | 201220153442.6 | 申请日： | 2012-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN202492461U | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 林日乐;李文蕴;张巧云;翁邦英;周倩 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人： | 李海华 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石英 敏感 芯片 | ||
【权利要求书】：
1.一种石英敏感芯片，包括本体（1），在该本体（1）上设置有开槽（2），该开槽（2）的末端具有拐角结构（4），其特征在于，所述拐角结构（4）和本体表面之间形成有一台阶（5），该台阶（5）和本体表面之间的壁面为圆弧面（6）。
2.根据权利要求1所述的一种石英敏感芯片，其特征在于，所述台阶（5）和圆弧面（6）通过腐蚀加工而成。
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