[实用新型]一种制备太阳能电池减反射绒面装置有效
| 申请号： | 201220156237.5 | 申请日： | 2012-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN202564189U | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 韩帅君;刘绪红;梁冬青;段少雷;李洋 | 申请（专利权）人： | 上海超日（洛阳）太阳能有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/306 | 分类号： | H01L21/306 |
| 代理公司： | 洛阳市凯旋专利事务所 41112 | 代理人： | 陆君 |
| 地址： | 471900*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 太阳能电池 反射 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种制备太阳能电池减反射绒面装置，其特征是：所述的装置包含溶液槽(1)、槽盖板(2)和喷淋头(3)；所述的溶液槽(1)槽壁设有连通储存混合溶液的储液罐(6)的进液口(4)，溶液槽(1)的槽底至少设有一个出液口(5)，溶液槽(1)上部槽口设有槽盖板(2)，槽盖板(2)上至少设有一个朝向溶液槽(1)槽内的喷淋头(3)；所述的喷淋头(3)与喷淋水路连通。
2.根据权利要求1所述的制备太阳能电池减反射绒面装置，其特征是：所述的溶液槽(1)槽底设置有两个用于分别排出混合溶液和排出喷淋水液的出液口(5)。
3.根据权利要求1所述的制备太阳能电池减反射绒面装置，其特征是：所述的喷淋头(3)对应放置在溶液槽(1)中硅片承载盒盒内的硅片。
4.根据权利要求1所述的制备太阳能电池减反射绒面装置，其特征是：所述的储液罐(6)内安置冷却水盘管(7)。
5.根据权利要求1或3所述的制备太阳能电池减反射绒面装置，其特征是：所述的喷淋头(3)通过喷淋水路与储存喷淋用水的储水罐(8)连通。
6.根据权利要求1或2所述的制备太阳能电池减反射绒面装置，其特征是：所述的出液口(5)设置有气动阀(9)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
