[实用新型]一种PECVD的石英管锁紧装置

权利要求书

1.一种PECVD的石英管锁紧装置，包括设有卡槽（11）的法兰（1）和套设在石英管（5）上的密封组件（2），所述卡槽（11）包括相连通的轴向段和周向段，其特征在于，该石英管锁紧装置还包括：

套设在所述石英管（5）上的第一锁件，所述第一锁件包括连接段（31）和可套设在所述密封组件（2）上的锁紧段（32），所述锁紧段（32）上设有可沿所述卡槽（11）移动的锁柱（33）；

套设在所述石英管（5）上且能够卡设在所述第一锁件内被限制沿远离所述密封组件（2）的方向运动的第二锁件（4），所述第二锁件（4）能够与所述密封组件（2）相抵。

2.根据权利要求1所述的PECVD的石英管锁紧装置，其特征在于，所述连接段（31）的内径上设有内卡柱（34），所述第二锁件（4）的靠近所述第一锁件的一端设有用于限制所述内卡柱（34）沿轴线方向运动的凸台（41），且所述凸台（41）上设有供所述内卡柱（34）穿过所述凸台（41）的开口（42）。

3.根据权利要求2所述的PECVD的石英管锁紧装置，其特征在于，所述内卡柱（34）和所述锁柱（33）的连线与所述石英管（5）的轴线方向平行。

4.根据权利要求2所述的PECVD的石英管锁紧装置，其特征在于，所述内卡柱（34）的个数为3个，所述开口（42）的个数为3个，且所述内卡柱（34）和所述开口（42）相对布置。

5.根据权利要求4所述的PECVD的石英管锁紧装置，其特征在于，所述内卡柱（34）和所述开口（42）分别均匀分布在所述连接段（31）的内径和所述凸台（41）上。

6.根据权利要求2所述的PECVD的石英管锁紧装置，其特征在于，所述凸台（41）的所述开口（42）处设有向远离所述第一锁件的方向延伸的用于限制所述内卡柱（34）沿周向运动的卡头（44）。

7.根据权利要求1所述的PECVD的石英管锁紧装置，其特征在于， 所述第一锁件的外壁上设有工具定位孔（35）。

8.根据权利要求1所述的PECVD的石英管锁紧装置，其特征在于，所述第二锁件（4）远离所述第一锁件的一端设有可与六角扳手配合的六角端（43）。

9.根据权利要求1-8任一项所述的PECVD的石英管锁紧装置，其特征在于，所述连接段（31）的内径大于所述锁紧段（32）的内径。

10.根据权利要求9所述的PECVD的石英管锁紧装置，其特征在于，所述第二锁件（4）的外径大于所述锁紧段（32）的内径。