[实用新型]去磷硅玻璃清洗机中纯水二次利用装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及去磷硅玻璃（PSG）清洗机，尤其涉及到去磷硅玻璃清洗机中的纯水二次利用装置。

背景技术

参见图1所示，目前常用的去磷硅玻璃清洗机中的纯水利用装置，包括喷淋槽1、喷淋槽11、以及漂洗槽6，喷淋槽1和喷淋槽11分别通过带阀的喷淋纯水给水管2、和喷淋纯水给水管21与纯水管道4相连接，喷淋槽1和喷淋槽11的底部分别通过带阀的喷淋纯水排放管3、和喷淋纯水排放管31与排放管道5相连接；漂洗槽6通过带阀的漂洗纯水给水管7与纯水管道4相连接，漂洗槽6的底部通过带阀的漂洗纯水排放管8与排放管道5相连接。

上述结构的纯水利用装置存在的缺点是：喷淋槽1、喷淋槽11和漂洗槽6使用过的纯水直接排放，纯水用量大，成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种纯水用量较小、成本低的去磷硅玻璃清洗机中纯水二次利用装置。

为实现上述目的，本实用新型采用了以下技术方案。

所述的去磷硅玻璃清洗机中纯水二次利用装置，包括若干喷淋槽和漂洗槽，各喷淋槽分别通过带阀的喷淋纯水给水管与纯水管道相连接，漂洗槽通过带阀的漂洗纯水给水管与纯水管道相连接，漂洗槽的底部通过带阀的漂洗纯水排放管与排放管道相连接，其特点是：各喷淋槽的底部分别通过带阀的喷淋纯水排放管与一根中间给水管相连接，中间给水管与副喷淋槽相连接，副喷淋槽通过一根带阀的循环管道与漂洗槽相连接，循环管道上设置有循环泵，副喷淋槽的底部通过带阀的副喷淋排放管与排放管道相连接。

进一步地，前述的去磷硅玻璃清洗机中纯水二次利用装置，其中，在漂洗纯水给水管上还设置有手动阀。

进一步地，前述的去磷硅玻璃清洗机中纯水二次利用装置，其中，中间给水管还通过一根带阀的中间排放管与排放管道相连接。

本实用新型的有益效果是：将喷淋槽排放的纯水先送至副喷淋槽存储，再由循环管道通过循环泵排至漂洗槽，作为漂洗水使用，这样可大大减少纯水的使用量，降低了生产成本。

附图说明

图1是背景技术中所述的去磷硅玻璃清洗机中纯水利用装置的结构示意图。

图2是本实用新型所述的去磷硅玻璃清洗机中纯水二次利用装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和较佳实施例对本实用新型所述的去磷硅玻璃清洗机中纯水二次利用装置作进一步的说明。

参见图2所示，本实用新型所述的去磷硅玻璃清洗机中纯水二次利用装置，包括两个喷淋槽1和11、以及漂洗槽6，喷淋槽1和11分别通过带阀的喷淋纯水给水管2和21与纯水管道4相连接，漂洗槽6通过带阀的漂洗纯水给水管7与纯水管道4相连接，本实施例中，在漂洗纯水给水管7上还设置有手动阀71；漂洗槽6的底部通过带阀的漂洗纯水排放管8与排放管道5相连接，喷淋槽1和11的底部分别通过带阀的喷淋纯水排放管3和31与一根中间给水管9相连接，中间给水管9与副喷淋槽10相连接，中间给水管9还通过一根带阀的中间排放管32与排放管道5相连接，副喷淋槽10通过一根带阀的循环管道13与漂洗槽6相连接，循环管道13上设置有循环泵14。副喷淋槽10的底部通过带阀的副喷淋排放管12与排放管道5相连接。

在实际工作中，在去磷硅玻璃清洗机中使用本实用新型所述的纯水二次利用装置，可以将喷淋槽排放的喷淋后的纯水作为漂洗水使用，其具体原理是：首先关闭漂洗纯水给水管7上的手动阀71，使纯水管道4中的纯水无法流入漂洗槽6，然后关闭中间排放管32使喷淋槽1和11中正常喷淋后的纯水通过中间给水管9排入副喷淋槽10中存储。当漂洗槽6中需要加水进行漂洗时，开通循环管道13、启动循环泵14，将副喷淋槽10中存储的水送入漂洗槽6对硅片进行漂洗。由此可以大大减少纯水的使用量，降低了成本。据实际测算，漂洗槽6纯水流量为每小时2.5吨，以每天连续生产20小时计算，每天可节约纯水2.5×20=50吨，一年可节约纯水50×365=18250吨，每吨纯水以7元算，可节约18250×7=127750元；循环泵14功率为250W，每天用电0.25KW×20=5KWH，以1KWH需要0.7元计算，一天需消耗电费为0.7×5=3.5元，一年消耗电费为3.5×365=1277元，每年可节省费用127750-1277=126473元，经济效益显著。