[实用新型]用于单晶硅棒加工的二次加料装置有效
申请号: | 201220165009.4 | 申请日: | 2012-04-09 |
公开(公告)号: | CN202865390U | 公开(公告)日: | 2013-04-10 |
发明(设计)人: | 孙国岱;朱锋;周诚 | 申请(专利权)人: | 江苏通宁新能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 单晶硅 加工 二次 加料 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种提高生产单晶硅棒的单晶炉石英坩蜗利用率的装置,进一步来说是具体涉及到一种用于单晶硅棒加工的二次加料装置。
背景技术
目前,单晶硅棒的生产加工,主要是将多晶硅块放入到单晶炉内的石英坩埚中,在高温的作用下,多晶硅块化为液态硅,进行拉晶作业,制成单晶硅棒,由于多晶硅在块的状态时,在石英坩埚中体积大于液体状态,所以,当多晶硅在块状时装入到单晶炉内石英坩埚中,待化为液态硅时,其体积小于多晶硅在块状时的体积,在石英坩埚中多晶硅块的容量与熔解后的液态硅的容量有很大的差距,直接导致石英坩埚不能充分利用,影响单晶硅的炉产量,由于石英坩埚的容积是相对固定的,因而单晶炉一次装料无法用足石英坩埚的容积,严重影响单晶炉石英坩埚的利用率,也增加了热量损失,因此,生产中需要一种装置,当石英坩埚内固体硅熔化后,在石英坩埚中空出的部分中,能够最大限度二次加入固体硅至石英坩埚中熔化,在拉晶前使石英坩埚中的液态硅达到满埚程度。
发明内容
本实用新型目的是克服了现有技术中的不足而提供结构简单、安装容易、方便操作的一种用于单晶硅棒加工的二次加料装置。
为了解决上述存在的技术问题,本实用新型采用下列技术方案:
一种用于单晶硅棒加工的二次加料装置,包括吊杆、档栓、支撑件、装料桶、出料口、下档板、单晶炉、石英坩埚、进料口、单晶炉口,其特征在于所述的吊杆穿过装料桶,所述的装料桶为圆柱形,其上口直径大于下口直径,上口为进料口,下口为出料口,档栓装配在吊杆的上部,下档板与吊杆的下端部固定连接,支撑杆和支撑圈组成支撑件,所述的支撑件有二组,支撑圈套装在吊杆上,支撑杆的一端与支撑圈连接,另一端与装料桶连接,装料桶出料口的直径大于单晶炉口的直径,下档板的直径小于单晶炉口的直径,石英坩埚位于单晶炉中。
本实用新型所述的一种用于单晶硅棒加工的二次加料装置,操作时通过吊杆的上端与升降装置连接。
进一步说明,本实用新型一种用于单晶硅棒加工的二次加料装置,通过升降装置将本装置吊装在单晶炉口上方,当单晶炉内的石英坩埚中第一次加入多晶硅块化为液态硅时,石英坩埚中空出了部分容量,通过升降装置将本装置下降,当本装置下降至单晶炉的单晶炉口时, 由于装料桶下端的出料口的直径大于单晶炉口的直径,装料桶停止下降,又由于下档板的直径小于单晶炉口的直径,此时,下档板在装料桶中的硅料重力作用下,并通过升降装置继续操作,下档板继续下降,并与出料口之间分离产生通道,装料桶中的硅料由这一通道,下落至单晶炉内的石英坩埚中,再将加料装置迅速升起,同时将炉内温度快速加高进行二次化料,等液化完后进行正常拉晶操作。
本实用新型与现有技术相比有如下有益之处:本实用新型提高了单晶炉石英坩蜗的利用率,也减少了热能损失,加工同样数量与品质的单晶棒,可少损耗电量8~10%,同时降低了工人的劳动强度,提高了劳动生产率,由于进行了二次加料,节约拆装炉时间,缩短了生产周期,降低了生产成本。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
在图1中:1-吊杆、2-档栓、3-第一支撑杆、4-第一支撑圈、5-装料桶、13-第二支撑杆、14-第二支撑圈、6-出料口、7-下档板、8-单晶炉、9-石英坩埚、10-进料口、11-单晶炉口、12-硅料。
具体实旋方式
下面结合附图对本实用新型进行详细描述:
如图所示,一种用于单晶硅棒加工的二次加料装置,包括吊杆1、档栓2、第一支撑杆3、第一支撑圈4、装料桶5、第二支撑杆13、第二支撑圈14、出料口6、下档板7、单晶炉8、石英坩埚9、进料口10、单晶炉口11、硅料12,其特征在于所述的吊杆1穿过装料桶5,所述的装料桶5为圆柱形,其上口直径大于下口直径,上口为进料口10,下口为出料口6,档栓2装配在吊杆1的上部,下档板7与吊杆1的下端部固定连接,第一支撑杆3、第一支撑圈4组成支撑件位于装料桶5的上端,第一支撑圈4套装在吊杆1上,第一支撑杆3的一端与第一支撑圈4连接,另一端与装料桶5连接,第二支撑杆13、第二支撑圈14组成的支撑件,位于装料桶5的中端,第二支撑圈14套装在吊杆1上,第二支撑杆13的一端与第二支撑圈14连接,另一端与装料桶5连接,装料桶5出料口6的直径大于单晶炉口11的直径,下档板7的直径小于单晶炉口11的直径,石英坩埚9位于单晶炉8中。
下面用实施例对本实用新型所述的一种用于单晶硅棒加工的二次加料装置作进一步说明。
当单晶炉8内的石英坩埚9中第一次加入多晶硅料化为液态硅时,石英坩埚9中空出了部分容量,当本装置下降至单晶炉8的单晶炉口11时,由于装料桶5的下端的出料口6的直 径大于单晶炉口11的直径,装料桶5停止下降,又由于下档板7的直径小于单晶炉口11的直径,此时,下档板7在装料桶5中的硅料12重力作用下,并通过升降装置继续操作,下档板7继续下降,并与出料口6之间分离产生通道,装料桶5中的硅料12由这一通道,下落至单晶炉8内的石英坩埚9中,再将加料装置迅速升起,同时将炉内温度快速加高进行二次化料,等液化完后进行正常拉晶操作。
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