[实用新型]一种具有真空夹层炉壁的真空电弧镀膜机有效
| 申请号： | 201220167666.2 | 申请日： | 2012-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN202576548U | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 李志荣;李志方;罗志明;李秋霞 | 申请（专利权）人： | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 周克佑 |
| 地址： | 523838 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 真空 夹层 炉壁 电弧 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有真空夹层炉壁的真空电弧镀膜机，其特征在于：所述真空夹层炉壁由之间具有真空夹层的内炉壁和外炉壁组成，处于所述真空电弧镀膜机的真空镀膜室内的多支加热管能分组控制。
2.根据权利要求1所述的具有真空夹层炉壁的真空电弧镀膜机，其特征在于：所述加热管至少分成两组，每组构成一个加热管组件，所述加热管组件由两个以上的加热管并联构成，每个加热管组件分别引出连接外部控制电源的导线，通过控制电源按实际炉温分时间段投入加热。
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