[实用新型]一种自动上下料PECVD石墨舟保护系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造自动化设备领域，尤其涉及一种自动上下料PECVD石墨舟保护系统。

背景技术

太阳能电池作为可再生的环保能源已经越来越受到人们的关注，与其相关的生产工艺及生产设备也得到了迅猛的发展。一直以来，传统的PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)，即等离子体增强化学气相沉积法一般都是手工将石墨舟放在SIC桨上，通过SIC桨将石墨舟放到石英管里面，当SIC桨放好石墨舟退出石英管后，以前的PECVD就是判断推舟板(SIC桨)到位后，就会关闭炉门，由于SIC桨在石英管的下降空间很小，且由于SIC桨前部微翘(前部微翘是为了使石墨舟放上后水平)，当SIC桨下降然后退出石英管时，SIC桨前面的横梁有可能挂出石墨舟，如果只判断推舟板(SIC桨)到位就关炉门，石墨舟则很可能被炉门损坏，因此亟待开发一种实现自动上下料PECVD的石墨舟保护系统。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型旨在提供一种用于自动上下料PECVD的石墨舟保护系统，保护石墨舟被SIC桨误挂出而不被损坏。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种自动上下料PECVD石墨舟保护系统，其结构特点是，包括光纤发光探头固定板和光纤感光探头固定板，所述光纤发光探头固定板上装有光纤传感器发光探头，所述光纤感光探头固定板上装有光纤传感器感光探头；所述光纤传感器发光探头和光纤传感器感光探头分别通过信号传输线与一光纤传感器放大器相连。

进一步地，所述光纤传感器放大器包括用于切换发光模式和感光模式的放大器工作模式切换开关，调节光强强弱的放大器光强设置开关，以及显示光强亮度值的放大器光强显示界面。所述光纤传感器传放大器操作简单，设置方便，有两种工作模式可以选择，数值显示测量值，指示灯显示状态。

所述光纤传感器放大器上还设有显示传感器是否工作的放大器指示灯。

所述光纤传感器放大器上设有与光纤传感器发光探头相连的放大器发光探头插入口和与光纤传感器感光探头相连的放大器感光探头插入口。

所述光纤发光探头固定板开有用于固定光纤传感器发光探头的光纤传感器发光探头固定腰孔，为了方便调节光纤传感器发光探头；设计小巧，便于安装在炉口等空间狭小的地方；所述光纤感光探头固定板开有用于固定光纤传感器感光探头的光纤传感器感光探头固定腰孔，为了方便调节光纤传感器感光探头，设计半工字型，便于安装在炉口等空间狭小的地方。

所述光纤发光探头固定板上装有发光探头安装板，该发光探头安装板安装在炉口位置。

所述光纤感光探头固定板安装在炉口位置。

所述光纤传感器发光探头和光纤传感器感光探头均为光纤材质制成，可以耐350℃高温，且对表面被镀上了一层减反射保护膜的石墨舟可以产生作用，发光探头和感光探头为对射安装传感器，但允许安装容差很大，非常便于狭小空间的安装。

藉由上述结构，所述用于自动上下料PECVD石墨舟保护系统，包括光纤发光头固定板、发光头安装板、光纤感光头固定板、光纤传感器发光探头、光纤传感器感光探头、传感器放大器，其特征是光纤发光头固定板开设有光纤传感器发光探头固定孔，该孔为腰孔，便于光纤传感器发光探头和感光探头对射光信号强度可调，所述的发光探头安装板是光纤发光探头固定板的安装板，便于将光纤发光探头固定板固定在炉口附近安装，所述的光纤感光探头固定板为安装光纤传感器感光探头板，开设有固定腰孔，可以调节感光器感应光强的大小。

所述的光纤传感器发光探头、光纤传感器感光探头、传感器放大器为石墨舟被SIC桨挂出的保护传感器部分。

当SIC桨放好石墨舟退出炉管后，除了判断推舟板(带动SIC桨)上的光电传感器是否动作外，还需要判断安装在炉口的高温光纤传感器是否动作，只有这两个传感器都动作后，才关闭炉门，杜绝石墨舟被误伤的风险。

本实用新型考虑到炉口附近安装空间和附近的高温环境，及必须是对表面被镀上了一层减反射保护膜的石墨舟可以产生作用的特点，设计了一种既小巧，又能够耐高温的自动上下料PECVD石墨舟保护系统，杜绝了石墨舟可能被炉门砸坏的风险，提高了自动上下料PECVD可靠程度。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例的结构原理示意图。

在图中：

1-光纤发光探头固定板；    2-发光探头安装板；

3-光纤感光探头固定板；    4-光纤传感器发光探头；